| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-14页 |
| 1.2.1 真空微电子加速度传感器及信号处理电路 | 第9-11页 |
| 1.2.2 隧道式加速度传感器信号处理电路 | 第11-13页 |
| 1.2.3 小结 | 第13-14页 |
| 1.3 研究目标与研究内容 | 第14-15页 |
| 1.3.1 研究目标 | 第14页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第14-15页 |
| 1.4 小结 | 第15-16页 |
| 2 真空微电子加速度传感器控制与检测理论及方法 | 第16-32页 |
| 2.1 场致发射理论 | 第16-17页 |
| 2.2 真空微电子加速度传感器结构及工作原理 | 第17-18页 |
| 2.3 真空微电子加速度传感器系统控制模型与方法 | 第18-24页 |
| 2.3.1 控制系统模型 | 第18-19页 |
| 2.3.2 敏感结构与控制电路模型 | 第19-24页 |
| 2.4 真空微电子加速度传感器信号检测与处理方法 | 第24-30页 |
| 2.4.1 真空微电子加速度传感器噪声分析 | 第25-27页 |
| 2.4.2 微弱信号检测方法 | 第27-30页 |
| 2.5 小结 | 第30-32页 |
| 3 真空微电子加速度传感器控制与检测电路设计与实现 | 第32-52页 |
| 3.1 控制与检测电路系统方案设计 | 第32-33页 |
| 3.2 控制与检测模块电路优化设计及仿真 | 第33-49页 |
| 3.2.1 ASIC电路 | 第33-35页 |
| 3.2.2 信号检测电路 | 第35-46页 |
| 3.2.3 反馈控制电路 | 第46-49页 |
| 3.3 控制与检测电路总体电路设计 | 第49-51页 |
| 3.4 小结 | 第51-52页 |
| 4 真空微电子加速度计测试与实验 | 第52-66页 |
| 4.1 测试参数 | 第52页 |
| 4.2 测试方法与结果 | 第52-64页 |
| 4.2.1 阈值电压与发射电流测试 | 第52-54页 |
| 4.2.2 灵敏度与非线性度测试 | 第54-57页 |
| 4.2.3 工作带宽测试 | 第57-59页 |
| 4.2.4 零偏稳定性测试 | 第59-62页 |
| 4.2.5 工作温度测试 | 第62-64页 |
| 4.3 真空微电子加速度计测试结果与分析 | 第64页 |
| 4.4 小结 | 第64-66页 |
| 5 总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 总结 | 第66页 |
| 5.2 展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 附录 | 第74页 |
| A.作者在攻读学位期间发表的论文目录： | 第74页 |