| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 压电泵的国内外研究现状 | 第13-21页 |
| 1.2.1 压电泵结构形式的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.2 压电泵驱动方式的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.2.3 压电泵输出性能的研究现状 | 第19-20页 |
| 1.2.4 压电泵的国内外研究现状小结 | 第20-21页 |
| 1.3 压电泵精密流量控制的研究现状 | 第21-23页 |
| 1.4 压电自感知技术的研究现状 | 第23-26页 |
| 1.5 本文的选题及研究意义 | 第26-29页 |
| 第2章 自感知压电晶片的振动分析 | 第29-49页 |
| 2.1 压电自感知技术的原理 | 第29-30页 |
| 2.2 压电双晶片自感知的实现方法 | 第30-32页 |
| 2.2.1 基于结构集成的方法 | 第31页 |
| 2.2.2 基于功能集成的方法 | 第31-32页 |
| 2.3 自感知压电晶片的振动分析 | 第32-40页 |
| 2.3.1 自感知压电晶片的力学分析 | 第33-38页 |
| 2.3.2 自感知压电晶片的电学分析 | 第38-40页 |
| 2.4 自感知压电晶片的试验测试 | 第40-47页 |
| 2.4.1 自感知压电晶片的性能测试 | 第41-42页 |
| 2.4.2 压电双晶片的性能测试 | 第42-44页 |
| 2.4.3 自感知压电晶片的感知电压特性 | 第44-46页 |
| 2.4.4 自感知压电晶片的感知电压与振幅之间的关系 | 第46-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第3章 单振子单腔体自感知压电泵的设计 | 第49-69页 |
| 3.1 单振子单腔体自感知压电泵的结构及工作原理 | 第49-51页 |
| 3.2 单振子单腔体自感知压电泵的动力学模型建立及求解 | 第51-57页 |
| 3.2.1 单振子单腔体自感知压电泵的动力学模型建立 | 第52-55页 |
| 3.2.2 单振子单腔体自感知压电泵的动力学模型求解 | 第55-57页 |
| 3.3 单振子单腔体自感知压电泵腔体的设计 | 第57-64页 |
| 3.3.1 腔体高度的设计 | 第57-60页 |
| 3.3.2 腔体结构的仿真分析 | 第60-64页 |
| 3.4 泵用单向截止阀的选择和匹配设计 | 第64-68页 |
| 3.4.1 单向截止阀的选择 | 第64-65页 |
| 3.4.2 单向截止阀的固定结构参数设计 | 第65-67页 |
| 3.4.3 单向截止阀的匹配设计 | 第67-68页 |
| 3.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第4章 单振子单腔体自感知压电泵的输出性能测试及研究 | 第69-81页 |
| 4.1 压电泵性能测试系统的搭建 | 第69-71页 |
| 4.2 单振子单腔体自感知压电泵的输出性能研究 | 第71-77页 |
| 4.2.1 单振子单腔体自感知压电泵的输出性能测试 | 第71-73页 |
| 4.2.2 单振子单腔体自感知压电泵的感知电压测试 | 第73-75页 |
| 4.2.3 单振子单腔体自感知压电泵的自感知关系研究 | 第75-77页 |
| 4.3 单振子单腔体压电泵的输出性能研究 | 第77-79页 |
| 4.3.1 单振子单腔体压电泵的输出性能测试 | 第77-78页 |
| 4.3.2 两种单腔体压电泵的输出性能比较 | 第78-79页 |
| 4.4 本章小结 | 第79-81页 |
| 第5章 单振子双作用自感知压电泵的设计及验证 | 第81-97页 |
| 5.1 单振子双作用自感知压电泵的设计 | 第81-85页 |
| 5.1.1 单振子双作用自感知压电泵的结构及工作原理 | 第81-83页 |
| 5.1.2 单振子双作用自感知压电泵的仿真分析 | 第83-85页 |
| 5.2 单振子双作用自感知压电泵的输出性能研究 | 第85-93页 |
| 5.2.1 单振子双作用自感知压电泵的输出性能测试 | 第85-87页 |
| 5.2.2 单振子双作用自感知压电泵的感知电压测试 | 第87-88页 |
| 5.2.3 单振子双作用自感知压电泵的自感知关系研究 | 第88-91页 |
| 5.2.4 单振子双作用压电泵的输出性能测试 | 第91-92页 |
| 5.2.5 单振子双作用压电泵的输出性能比较 | 第92-93页 |
| 5.3 两种单振子压电泵的输出性能比较 | 第93-95页 |
| 5.3.1 两种单振子压电泵的输出性能比较 | 第93-94页 |
| 5.3.2 两种自感知压电泵的输出性能比较 | 第94-95页 |
| 5.4 本章小结 | 第95-97页 |
| 第6章 单振子自感知压电泵的控制系统研究 | 第97-107页 |
| 6.1 单振子自感知压电泵的控制系统原理 | 第97-98页 |
| 6.2 单振子自感知压电泵的控制系统设计 | 第98-101页 |
| 6.2.1 控制系统硬件的设计 | 第98-99页 |
| 6.2.2 控制系统操作软件的设计 | 第99-101页 |
| 6.3 单振子自感知压电泵的输出精度测试 | 第101-106页 |
| 6.3.1 单振子单腔体自感知压电泵的输出精度测试 | 第101-103页 |
| 6.3.2 单振子双作用自感知压电泵的输出精度测试 | 第103-106页 |
| 6.4 本章小结 | 第106-107页 |
| 第7章 结论及展望 | 第107-111页 |
| 7.1 结论 | 第107-109页 |
| 7.2 创新点 | 第109页 |
| 7.3 展望 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-125页 |
| 作者简介及在学期间所取得的科研成果 | 第125-127页 |
| 致谢 | 第127页 |
