| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 引言 | 第12-15页 |
| 1.2 太赫兹探测技术概况 | 第15-17页 |
| 1.2.1 微测辐射热计探测器 | 第15-16页 |
| 1.2.2 热释电探测器 | 第16页 |
| 1.2.3 高莱探测器 | 第16-17页 |
| 1.3 太赫兹探测技术的国内外研究状况 | 第17-21页 |
| 1.3.1 国外研究状况 | 第17-18页 |
| 1.3.2 国内研究状况 | 第18-21页 |
| 1.4 本论文的研究内容与创新 | 第21-22页 |
| 1.5 本论文的结构安排 | 第22-23页 |
| 第二章 太赫兹微测辐射热计探测原理 | 第23-34页 |
| 2.1 太赫兹辐射源 | 第23-24页 |
| 2.2 室温太赫兹探测器 | 第24-31页 |
| 2.2.1 微测辐射热计探测原理 | 第24-28页 |
| 2.2.2 微桥结构 | 第28-29页 |
| 2.2.3 读出电路 | 第29-30页 |
| 2.2.4 封装形式 | 第30-31页 |
| 2.3 太赫兹波成像技术 | 第31-33页 |
| 2.3.1 脉冲太赫兹成像 | 第31-32页 |
| 2.3.2 连续太赫兹成像 | 第32页 |
| 2.3.3 影响连续太赫兹图像的因素分析 | 第32-33页 |
| 2.3.4 连续太赫兹图像的特点 | 第33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 太赫兹微测辐射热计增强吸收及力学性能的研究 | 第34-56页 |
| 3.1 微测辐射热计太赫兹波吸收分析 | 第34-41页 |
| 3.1.1 微测辐射热计太赫兹吸收等效模型及光学分析 | 第34-39页 |
| 3.1.2 金属薄膜的太赫兹辐射吸收率 | 第39-41页 |
| 3.2 太赫兹微测辐射热计吸收增强 | 第41-47页 |
| 3.2.1 不同厚度Ni Cr薄膜的太赫兹吸收性能 | 第42页 |
| 3.2.2 RIE工艺增强Ni Cr薄膜太赫兹波吸收 | 第42-44页 |
| 3.2.3 谐振腔高度对太赫兹波吸收性能的影响 | 第44-47页 |
| 3.3 太赫兹微测辐射热计力学性能研究 | 第47-55页 |
| 3.3.1 太赫兹微测辐射计应力分析 | 第47-49页 |
| 3.3.2 基于DOE的残余应力对微桥形变影响分析 | 第49-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 室温太赫兹探测单元及探测器制备与测试 | 第56-87页 |
| 4.1 太赫兹焦平面及探测器的制备 | 第56-59页 |
| 4.2 微测辐射热计太赫兹探测单元测试 | 第59-71页 |
| 4.2.1 太赫兹微测辐射热计热学参数测试 | 第60-65页 |
| 4.2.2 太赫兹微测辐射热计光电性能测试 | 第65-71页 |
| 4.3 太赫兹探测器测试 | 第71-75页 |
| 4.3.1 时域噪声测试 | 第71-72页 |
| 4.3.2 固定图像噪声 | 第72-73页 |
| 4.3.3 响应率测试 | 第73-74页 |
| 4.3.4 噪声等效功率测试 | 第74页 |
| 4.3.5 动态范围 | 第74-75页 |
| 4.4 探测器测试系统设计 | 第75-83页 |
| 4.4.1 电子系统 | 第75-79页 |
| 4.4.2 数据采集系统 | 第79-80页 |
| 4.4.3 测试软件 | 第80-83页 |
| 4.5 测试结果与分析 | 第83-86页 |
| 4.5.1 RMS时域噪声测试结果 | 第83-84页 |
| 4.5.2 固定图像噪声测试结果 | 第84-85页 |
| 4.5.3 响应率的测试结果 | 第85-86页 |
| 4.5.4 NEP的测试结果 | 第86页 |
| 4.6 本章小结 | 第86-87页 |
| 第五章 室温太赫兹探测器验证成像技术 | 第87-124页 |
| 5.1 太赫兹焦平面成像原理与构成 | 第87-89页 |
| 5.1.1 成像原理 | 第87-88页 |
| 5.1.2 系统构成 | 第88-89页 |
| 5.2 太赫兹图像处理 | 第89-107页 |
| 5.2.1 非均匀性校正算法 | 第89-94页 |
| 5.2.2 基于牛顿插值的盲元补偿算法 | 第94-99页 |
| 5.2.3 太赫兹图像增强算法 | 第99-107页 |
| 5.3 太赫兹探测系统的硬件设计 | 第107-114页 |
| 5.3.1 驱动电路 | 第107-111页 |
| 5.3.2 信号处理板电路 | 第111-114页 |
| 5.4 基于FPGA的图像处理实现 | 第114-119页 |
| 5.5 太赫兹成像结果及分析 | 第119-123页 |
| 5.6 本章小结 | 第123-124页 |
| 第六章 总结与展望 | 第124-126页 |
| 6.1 总结 | 第124-125页 |
| 6.2 展望 | 第125-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 参考文献 | 第127-139页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第139-142页 |
