毫秒激光致砷化镓材料损伤研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 激光与物质相互作用的研究背景 | 第7-8页 |
| 1.1.1 激光加工 | 第7页 |
| 1.1.2 激光增材制造 | 第7-8页 |
| 1.1.3 激光武器 | 第8页 |
| 1.1.4 激光在医学方面的应用 | 第8页 |
| 1.2 激光与砷化镓材料相互作用的研究意义 | 第8-9页 |
| 1.3 研究现状 | 第9-12页 |
| 1.3.1 国外相关研究进展 | 第9-11页 |
| 1.3.2 国内相关研究进展 | 第11-12页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 2 激光与物质相互作用的基础理论 | 第13-17页 |
| 2.1 材料对激光的吸收机制 | 第13页 |
| 2.2 激光辐照材料损伤的机理 | 第13-17页 |
| 2.2.1 热损伤模型 | 第15页 |
| 2.2.2 电离损伤模型 | 第15-16页 |
| 2.2.3 强光饱和失效模型 | 第16-17页 |
| 3 毫秒激光致砷化镓材料热熔损伤研究 | 第17-34页 |
| 3.1 毫秒激光辐照砷化镓材料温度场模拟 | 第17-28页 |
| 3.1.1 模型建立 | 第17-19页 |
| 3.1.2 砷化镓材料的相关性质及参数 | 第19-22页 |
| 3.1.3 砷化镓材料相变过程中的模拟 | 第22-24页 |
| 3.1.4 模拟结果分析 | 第24-28页 |
| 3.2 毫秒激光辐照砷化镓材料实验 | 第28-33页 |
| 3.2.1 实验装置 | 第28-29页 |
| 3.2.2 实验结果 | 第29页 |
| 3.2.3 实验结果与模拟结果对比分析 | 第29-33页 |
| 3.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 毫秒激光致砷化镓材料的热应力损伤研究 | 第34-48页 |
| 4.1 晶体塑性变形理论 | 第34-37页 |
| 4.1.1 晶体的滑移系 | 第34-35页 |
| 4.1.2 滑移的临界分切应力(CRSS) | 第35-36页 |
| 4.1.3 砷化镓的晶体结构 | 第36-37页 |
| 4.2 毫秒激光辐照砷化镓材料应力场模型 | 第37-39页 |
| 4.2.1 模型建立 | 第37页 |
| 4.2.2 热应力场计算 | 第37-38页 |
| 4.2.3 砷化镓晶体的滑移系 | 第38-39页 |
| 4.3 模型计算结果及分析 | 第39-46页 |
| 4.3.1 不同滑移系分切应力在材料表面的分布 | 第39-41页 |
| 4.3.2 不同滑移系分切应力在材料体内的分布 | 第41-43页 |
| 4.3.3 不同滑移系切分应力随时间的变化 | 第43-44页 |
| 4.3.4 激光致砷化镓损伤形貌与模拟结果对比 | 第44-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 5 总结与展望 | 第48-49页 |
| 5.1 总结 | 第48页 |
| 5.2 展望 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
