镁锂合金表面CrN薄膜的制备与研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·引言 | 第11-13页 |
| ·镁及镁合金的概述 | 第11页 |
| ·镁锂合金 | 第11-12页 |
| ·镁锂合金的应用 | 第12-13页 |
| ·镁锂合金的腐蚀机理 | 第13-16页 |
| ·镁的腐蚀机理 | 第13-15页 |
| ·镁锂合金的腐蚀行为 | 第15-16页 |
| ·镁锂合金的表面防护技术 | 第16-20页 |
| ·化学转化 | 第17-18页 |
| ·阳极氧化 | 第18-19页 |
| ·电镀与化学镀 | 第19页 |
| ·溶胶-凝胶涂层 | 第19页 |
| ·气相沉积层 | 第19-20页 |
| ·氮化铬薄膜的研究进展 | 第20-22页 |
| ·本文主要研究的目的与意义 | 第22-23页 |
| 第2章 实验设备及分析方法 | 第23-33页 |
| ·磁控溅射技术 | 第23-27页 |
| ·溅射机理及特点 | 第23-24页 |
| ·基本溅射类型 | 第24-27页 |
| ·薄膜沉积系统 | 第27-28页 |
| ·样品的制备流程 | 第28-30页 |
| ·基片的预处理 | 第28-29页 |
| ·镀膜工艺流程 | 第29-30页 |
| ·薄膜表征技术 | 第30-32页 |
| ·膜层结构分析 | 第30页 |
| ·表面形貌分析 | 第30页 |
| ·腐蚀试验 | 第30-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第3章 镁锂合金表面CrN 薄膜的研究 | 第33-54页 |
| ·CrN 薄膜的制备 | 第33-34页 |
| ·工艺参数对薄膜结构和性能的影响 | 第34-52页 |
| ·氮气流量对氮化铬薄膜结构和性能的影响 | 第34-41页 |
| ·基底温度对氮化铬薄膜结构和性能的影响 | 第41-47页 |
| ·溅射功率对氮化铬薄膜结构和性能的影响 | 第47-52页 |
| ·其它溅射因素对氮化铬薄膜性能的影响 | 第52页 |
| ·小结 | 第52-54页 |
| 第4章 Cr-Zr-N 系统中单层和多层膜的研究 | 第54-66页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第54-55页 |
| ·薄膜的性能分析 | 第55-64页 |
| ·薄膜的成分和结构分析 | 第55-56页 |
| ·薄膜形貌的分析 | 第56-59页 |
| ·薄膜的抗腐性能 | 第59-62页 |
| ·薄膜的腐蚀机理分析 | 第62-64页 |
| ·小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文 | 第82页 |
