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五阶低噪声ΣΔ加速度计接口电路设计

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第一章 绪论第8-19页
   ·课题背景与意义第8-10页
   ·国内外研究发展及现状第10-18页
   ·主要研究内容第18-19页
第二章 ΣΔ力反馈加速度计的工作原理第19-30页
   ·引言第19页
   ·电容式加速度计的数学模型第19-21页
   ·电容式加速度计的信号检测原理第21-23页
     ·差分电容检测第21-23页
     ·相关双采样第23页
   ·闭环加速度计的静电反馈原理第23-25页
   ·ΣΔ调制原理第25-28页
     ·过采样第25-26页
     ·噪声整形第26-28页
   ·ΣΔ力反馈加速度计第28-29页
   ·本章小结第29-30页
第三章 ΣΔ加速度计系统的设计与分析第30-46页
   ·引言第30页
   ·ΣΔ加速度计系统的离散模型第30-33页
     ·分时反馈下机械结构的离散模型第30-32页
     ·分时反馈对系统的影响第32-33页
   ·ΣΔ机电系统的拓扑结构第33-38页
     ·单反馈结构第33-34页
     ·多反馈结构第34-35页
     ·不受自由度限制的多反馈方案第35-37页
     ·不受自由度限制的单反馈方案第37-38页
   ·五阶ΣΔ加速度计系统第38-45页
     ·高阶ΣΔ机电系统的设计流程第38-39页
     ·多反馈五阶ΣΔ加速度计系统第39-44页
     ·单反馈五阶ΣΔ加速度计系统第44-45页
   ·本章小结第45-46页
第四章 五阶ΣΔ加速度计接口电路的设计第46-59页
   ·引言第46页
   ·接口电路的工作原理第46-50页
     ·整体电路方案第46-48页
     ·机械结构的系统仿真模型第48-50页
     ·理想电路系统的仿真第50页
   ·电路模块设计第50-56页
     ·MOS 开关的设计第50-52页
     ·运放的设计第52-55页
     ·比较器的设计第55-56页
   ·系统仿真结果第56-58页
   ·本章小结第58-59页
结论第59-60页
参考文献第60-64页
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果第64-66页
致谢第66页

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