纺织钢领真空电弧离子镀设备的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| ·选题的目的和意义 | 第10页 |
| ·电弧离子镀膜技术概述 | 第10-11页 |
| ·电弧离子镀膜技术的工艺原理 | 第10页 |
| ·电弧离子镀膜技术的工艺特点 | 第10-11页 |
| ·电弧离子镀膜技术在国内外的发展现状 | 第11-13页 |
| ·国外的研究发展现状 | 第11-12页 |
| 1)阴极电弧斑点的控制 | 第11-12页 |
| 2) ABSTM技术与设备 | 第12页 |
| 3) 脉冲偏压电弧离子镀技术 | 第12页 |
| ·国内的研究发展现状 | 第12-13页 |
| ·低温镀膜的发展现状 | 第13页 |
| ·设备技术发展方向 | 第13页 |
| ·课题研究的内容 | 第13-16页 |
| 2 真空电弧离子镀膜设备基本组成 | 第16-22页 |
| ·影响电弧离子镀膜的主要工艺参数 | 第16-17页 |
| ·电弧离子镀膜设备的基本组成 | 第17-20页 |
| ·蒸发源装置的功能结构 | 第17页 |
| ·冷却系统的功能结构 | 第17-18页 |
| ·工件架的功能结构 | 第18页 |
| ·真空系统 | 第18-19页 |
| ·负偏压系统 | 第19页 |
| ·加热升温与测温系统 | 第19-20页 |
| ·小结 | 第20-22页 |
| 3 蒸发源的设计 | 第22-36页 |
| ·电弧蒸发源工作原理介绍 | 第22-24页 |
| ·蒸发源稳定性研究 | 第24-25页 |
| ·影响因素 | 第24页 |
| ·分析与讨论 | 第24-25页 |
| ·电弧离子镀膜蒸发源的设计要求 | 第25-26页 |
| ·蒸发源的结构设计 | 第26-31页 |
| ·蒸发源及组件材料的选取 | 第26页 |
| ·蒸发源靶材设计 | 第26-27页 |
| ·引弧机构的设计 | 第27-28页 |
| ·可调磁场的设计 | 第28页 |
| ·屏蔽罩的设计 | 第28-29页 |
| ·蒸发源水冷设计 | 第29-30页 |
| ·蒸发源数量及位置的确定 | 第30-31页 |
| ·磁过滤器设计 | 第31-35页 |
| ·大颗粒的抑制方法 | 第31-32页 |
| ·磁过滤器的加装 | 第32-35页 |
| ·总结 | 第35-36页 |
| 4 纺织钢领电弧离子镀冷却系统的研究 | 第36-46页 |
| ·镀膜过程所产生热量的计算 | 第36-38页 |
| ·蒸发源热量计算 | 第36页 |
| ·真空室产生热量计算 | 第36-38页 |
| ·冷却水系统设计 | 第38-41页 |
| ·水冷系统基本参数的确定 | 第39页 |
| ·真空室水冷设计 | 第39-41页 |
| ·热平衡分析 | 第41-44页 |
| ·冷却系统所带走热量计算 | 第41-42页 |
| ·冷却水系统的校核 | 第42页 |
| ·真空室温度场分析模拟 | 第42-44页 |
| ·总结 | 第44-46页 |
| 5 真空室整体设计 | 第46-64页 |
| ·真空室腔体设计 | 第46-51页 |
| ·真空容器结构设计要求 | 第46页 |
| ·腔体材料的选择 | 第46-47页 |
| ·真空室结构设计 | 第47-51页 |
| ·真空室有限元分析 | 第51-53页 |
| ·分析对象 | 第51页 |
| ·三维模型的建立 | 第51-52页 |
| ·真空室应力应变分析 | 第52-53页 |
| ·真空系统设计 | 第53-58页 |
| ·真空系统设计主要参数 | 第53-55页 |
| ·主真空泵选型 | 第55-57页 |
| ·抽气时间计算 | 第57-58页 |
| ·工件架设计 | 第58-63页 |
| ·工件架传动设计 | 第58-59页 |
| ·齿轮传动的设计 | 第59-62页 |
| ·工件架驱动电机选择 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·总结 | 第64页 |
| ·展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及获得的发明专利 | 第70-71页 |
