摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-8页 |
目录 | 第8-10页 |
1 文献综述 | 第10-24页 |
·红外低辐射膜 | 第10-12页 |
·红外低辐射膜的分类 | 第12-17页 |
·在线膜及其制备方法 | 第12-14页 |
·离线膜及其制备方法 | 第14-16页 |
·在线膜与离线膜的比较 | 第16-17页 |
·红外低辐射膜的研究进展 | 第17-20页 |
·选题意义 | 第20-22页 |
·研究内容和本文结构安排 | 第22-24页 |
·研究内容 | 第22-23页 |
·本文结构安排 | 第23-24页 |
2 红外低辐射膜的设计 | 第24-37页 |
·红外低辐射膜的的光学计算 | 第24-33页 |
·薄膜光学基础 | 第24-26页 |
·单层膜的光学性质 | 第26-28页 |
·多层介质膜的光学性质 | 第28-31页 |
·Low-E薄膜的光学特性 | 第31-32页 |
·基于德鲁特模型的Low-E薄膜功能层光学常数的确定 | 第32-33页 |
·小结 | 第33页 |
·Au-Ag合金靶材设计 | 第33-35页 |
·膜系设计 | 第35-37页 |
3 红外低辐射膜的制备 | 第37-48页 |
·实验材料与设备 | 第37-39页 |
·低辐射膜的制备 | 第39-40页 |
·检测与表征 | 第40-48页 |
·薄膜性质测试 | 第40-44页 |
·靶材溅射速率的测定 | 第40-42页 |
·椭偏仪对样品厚度的测试与分析 | 第42-44页 |
·薄膜的结构测试 | 第44-46页 |
·薄膜的x射线衍射测试 | 第44-45页 |
·场发射扫描电镜测试 | 第45-46页 |
·原子力显微镜测试 | 第46页 |
·薄膜性能测试 | 第46-48页 |
·薄膜光学性能测试 | 第46-47页 |
·功能层膜系稳定性测试 | 第47-48页 |
4 实验结果与讨论 | 第48-66页 |
·薄膜晶体结构分析 | 第48-50页 |
·不同厚度Ag膜的XRD分析 | 第48-49页 |
·TiO_2薄膜的XRD分析 | 第49-50页 |
·膜系微观结构分析 | 第50-54页 |
·薄膜表面形貌在扫描电子显微镜(SEM)下的观察与分析 | 第50-52页 |
·薄膜表面形貌在原子力显微镜(AFM)下的观察与分析 | 第52-54页 |
·膜系光学性能分析 | 第54-64页 |
·各膜系在可见-近红外光区的透射性能 | 第54-62页 |
·基底在可见-近红外光区的透射性能 | 第55-56页 |
·功能层膜系在可见-近红外光区的透射性能 | 第56-58页 |
·介质层膜系在可见-近红外光区的透射性能 | 第58-59页 |
·复合膜系在可见-近红外光区的透射性能 | 第59-62页 |
·膜系在远红外区的反射性能 | 第62-64页 |
·功能层膜系稳定性能分析 | 第64-66页 |
5 结论与展望 | 第66-68页 |
·结论 | 第66-67页 |
·展望 | 第67-68页 |
参考文献 | 第68-72页 |
致谢 | 第72-73页 |
附录 | 第73页 |