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TiO2/NiCr/Au-Ag/NiCr/TiO2型复合膜的制备及其低辐射性能研究

摘要第1-6页
Abstract第6-8页
目录第8-10页
1 文献综述第10-24页
   ·红外低辐射膜第10-12页
   ·红外低辐射膜的分类第12-17页
     ·在线膜及其制备方法第12-14页
     ·离线膜及其制备方法第14-16页
     ·在线膜与离线膜的比较第16-17页
   ·红外低辐射膜的研究进展第17-20页
   ·选题意义第20-22页
     ·研究内容和本文结构安排第22-24页
     ·研究内容第22-23页
     ·本文结构安排第23-24页
2 红外低辐射膜的设计第24-37页
   ·红外低辐射膜的的光学计算第24-33页
     ·薄膜光学基础第24-26页
     ·单层膜的光学性质第26-28页
     ·多层介质膜的光学性质第28-31页
     ·Low-E薄膜的光学特性第31-32页
     ·基于德鲁特模型的Low-E薄膜功能层光学常数的确定第32-33页
     ·小结第33页
   ·Au-Ag合金靶材设计第33-35页
   ·膜系设计第35-37页
3 红外低辐射膜的制备第37-48页
   ·实验材料与设备第37-39页
   ·低辐射膜的制备第39-40页
   ·检测与表征第40-48页
     ·薄膜性质测试第40-44页
       ·靶材溅射速率的测定第40-42页
       ·椭偏仪对样品厚度的测试与分析第42-44页
     ·薄膜的结构测试第44-46页
       ·薄膜的x射线衍射测试第44-45页
       ·场发射扫描电镜测试第45-46页
       ·原子力显微镜测试第46页
     ·薄膜性能测试第46-48页
       ·薄膜光学性能测试第46-47页
       ·功能层膜系稳定性测试第47-48页
4 实验结果与讨论第48-66页
   ·薄膜晶体结构分析第48-50页
     ·不同厚度Ag膜的XRD分析第48-49页
     ·TiO_2薄膜的XRD分析第49-50页
   ·膜系微观结构分析第50-54页
     ·薄膜表面形貌在扫描电子显微镜(SEM)下的观察与分析第50-52页
     ·薄膜表面形貌在原子力显微镜(AFM)下的观察与分析第52-54页
   ·膜系光学性能分析第54-64页
     ·各膜系在可见-近红外光区的透射性能第54-62页
       ·基底在可见-近红外光区的透射性能第55-56页
       ·功能层膜系在可见-近红外光区的透射性能第56-58页
       ·介质层膜系在可见-近红外光区的透射性能第58-59页
       ·复合膜系在可见-近红外光区的透射性能第59-62页
     ·膜系在远红外区的反射性能第62-64页
   ·功能层膜系稳定性能分析第64-66页
5 结论与展望第66-68页
   ·结论第66-67页
   ·展望第67-68页
参考文献第68-72页
致谢第72-73页
附录第73页

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