致谢 | 第1-5页 |
中文摘要 | 第5-6页 |
英文摘要 | 第6-7页 |
第一章 导言 | 第7-17页 |
1. 1 本课题的研究背景和研究目标 | 第7-15页 |
1. 2 立题意义及完成的主要工作 | 第15-17页 |
第二章 散斑计量基础与散斑物理特性 | 第17-40页 |
2. 1 光场的统计特性和偏振特性 | 第17-31页 |
2. 1. 1 光场的基本特性 | 第18-21页 |
2. 1. 2 光阑限制和透镜限制 | 第21-26页 |
2. 1. 3 实际照明光场的统计特性和偏振特性 | 第26-30页 |
2. 1. 4 物表面光场的统计特性和偏振特性 | 第30-31页 |
2. 2 准外差干涉计量原理 | 第31-33页 |
2. 2. 1 干涉计量基本原理 | 第31-32页 |
2. 2. 2 外差干涉计量原理 | 第32页 |
2. 2. 3 准外差干涉计量 | 第32-33页 |
2. 3 全息干涉计量原理 | 第33-37页 |
2. 3. 1 全息照相原理 | 第33-35页 |
2. 3. 2 二次曝光法全息干涉计量 | 第35-37页 |
2. 4 散斑的物理特性 | 第37-40页 |
第三章 数字散斑干涉计量与实验方案选择 | 第40-48页 |
3. 1 散斑干涉计量光学实现方法 | 第40-46页 |
3. 2 数字散斑干涉计量 | 第46页 |
3. 3 准外差数字散斑干涉计量及计量信息的表征方法 | 第46-48页 |
第四章 数字散斑干涉技术应用设计 | 第48-65页 |
4. 1 测量离面位移和形变的光路设计与操作原理 | 第48-49页 |
4. 2 光、机、电器件制备与计算机控制系统配置 | 第49-52页 |
4. 2. 1 机械结构与重要自制件设计介绍 | 第49-50页 |
4. 2. 2 关键商品件选择 | 第50-51页 |
4. 2. 3 计算机控制系统配置 | 第51-52页 |
4. 4 软件算法设计与系统功能实现 | 第52-65页 |
4. 4. 1 步进相移器驱动程序算法原理与实现方法 | 第52-55页 |
4. 4. 2 测试信息误差理论分析与数据处理效果 | 第55-65页 |
第五章 光电测试仪多功能光路设计 | 第65-71页 |
5. 1 仪器原理 | 第65-67页 |
5. 1. 1 系统照片和功能框图 | 第65-66页 |
5. 1. 2 多功能光学系统原理图 | 第66-67页 |
5. 2 实验光路设计 | 第67-71页 |
5. 2. 1 干涉实验类光路 | 第67页 |
5. 2. 2 衍射实验类光路 | 第67-68页 |
5. 2. 3 透镜FT性质与成像实验光路 | 第68页 |
5. 2. 4 IFT与空域滤波实验光路 | 第68页 |
5. 2. 5 笔束激光(纳米精度)干涉实验光路 | 第68-69页 |
5. 2. 6 共焦显微实验光路 | 第69页 |
5. 2. 7 光纤传感实验光路 | 第69-71页 |
第六章 多功能光电测试仪软件功能说明 | 第71-78页 |
6. 1 激光多功能光电测试系统实验仪综合软件 | 第71-72页 |
6. 2 干涉图的条纹自动分析 | 第72-78页 |
第七章 论文总结 | 第78-82页 |
7. 1 本课题的收获与存在的不足 | 第78-80页 |
7. 2 散斑干涉计量仪器应用前景展望 | 第80-82页 |
参考文献 | 第82-83页 |