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ZnO微米线异质结发光器件的制备及研究

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 绪论第11-35页
   ·ZnO 的基本性质第11-26页
     ·ZnO 晶体结构第11-12页
     ·ZnO 能带结构第12-15页
     ·ZnO 电学特性第15-20页
     ·ZnO 光学特性第20-26页
   ·ZnO 材料的进展与应用第26-32页
     ·透明导电薄膜第26-28页
     ·气敏传感器第28页
     ·紫外探测器第28-29页
     ·发光器件第29-32页
   ·本论文主要研究内容第32-35页
第二章 制备 ZnO 薄膜以及表征的方法第35-57页
   ·ZnO 薄膜的主要制备技术第35-50页
     ·真空蒸发镀膜(Vacuum vapor plating)第35-36页
     ·原子层沉积(ALD)第36-37页
     ·脉冲激光沉积法(PLD: Pulsed Laser Deposition)第37-38页
     ·分子束外延法(MBE: Molecule Beam Epitaxy)第38-40页
     ·金属有机物化学气相沉积(MOCVD)第40-48页
     ·磁控溅射方法(Magnetron-sputtering)第48-50页
   ·ZnO 薄膜及器件的表征技术简介第50-57页
     ·X 射线衍射(XRD)第51-53页
     ·原子力显微镜(AFM)第53-54页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第54-55页
     ·光致发光(PL)第55页
     ·电致发光(EL)第55-57页
第三章 ZnO 微米线的制备与表征第57-75页
   ·ZnO 微米线制备方法第57-59页
     ·水热法第57-58页
     ·化学气相沉积第58-59页
   ·ZnO 微米线样品形貌结构及表征第59-67页
   ·制作 ZnO 微米线发光器件实验方法第67-72页
   ·本章小结第72-75页
第四章 ZnO 微米线与 p 型 Si 异质结发光器件的制备与研究第75-85页
   ·基于 ZnO 材料与 Si 的研究意义第75页
   ·n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结发光器件的制备第75-77页
   ·n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结发光器件性能研究第77-84页
     ·n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结发光器件 I-V 测试第77-78页
     ·n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结发光器件电致发光研究第78-84页
   ·本章小结第84-85页
第五章 ZnO 微米线/SiO2/Si 异质结发光器件的制备与研究第85-93页
   ·ZnO 材料与 Si 异质结发光器件中载流子阻挡层的研究意义第85-86页
   ·n 型 ZnO 微米线/ SiO_2/p 型 Si 异质结发光器件的制备第86页
   ·n 型 ZnO 微米线/ SiO_2/p 型 Si 异质结发光器件性能研究第86-92页
     ·n 型 ZnO 微米线/ SiO_2/p 型 Si 异质结发光器件 I-V 测试第86-87页
     ·n 型ZnO 微米线/ SiO_2/p 型Si 异质结发光器件电致发光研究第87-90页
     ·n 型 ZnO 微米线/ SiO_2/p 型 Si 异质结发光器件能带分析第90-92页
   ·本章小结第92-93页
第六章 电泵浦 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结激光器的研究第93-103页
   ·电泵浦 ZnO 微米线基激光器研究的意义第93页
   ·n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结激光器性能研究第93-101页
     ·I-V 测试第93-94页
     ·正向偏压下 n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结电致发光特性研究第94-96页
     ·反向偏压下 n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结电致发光特性研究第96-98页
     ·n 型 ZnO 微米线/p 型 Si 异质结发光器件能带分析第98-101页
   ·本章小结第101-103页
结论第103-105页
参考文献第105-115页
攻读博士学位期间的论文成果第115-116页
致谢第116页

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