| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·本论文主要研究的内容 | 第12-15页 |
| 2 SiC 高温压力传感器的工作原理 | 第15-27页 |
| ·前言 | 第15页 |
| ·传感器电磁模型的基本理论 | 第15-20页 |
| ·互感耦合回路电磁感应原理 | 第15-18页 |
| ·传感器电磁模型的理论分析 | 第18-20页 |
| ·传感器力学模型的基本理论 | 第20-24页 |
| ·简单薄板理论 | 第20-21页 |
| ·传感器力电耦合模型的理论分析 | 第21-24页 |
| ·传感器谐振频率读取的影响因素 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 3 SiC 高温压力传感器的结构设计与仿真分析 | 第27-37页 |
| ·前言 | 第27页 |
| ·传感器电容结构设计 | 第27-30页 |
| ·传感器电容结构的模型建立 | 第27-28页 |
| ·传感器电容结构的参数设计 | 第28-30页 |
| ·传感器电感结构设计 | 第30-33页 |
| ·传感器电感结构的基本模型 | 第30-31页 |
| ·传感器电感结构的参数设计 | 第31-33页 |
| ·传感器电容压敏结构的仿真分析 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 4 SiC 高温压力传感器的制备工艺及关键技术研究 | 第37-55页 |
| ·前言 | 第37页 |
| ·SiC 材料及传感器工艺流程设计 | 第37-41页 |
| ·SiC 材料简介 | 第37-39页 |
| ·传感器工艺流程设计 | 第39-41页 |
| ·传感器关键单项工艺技术研究 | 第41-48页 |
| ·SiC 深刻蚀工艺研究 | 第41-45页 |
| ·丝网印刷与键合工艺 | 第45-48页 |
| ·传感器的工艺制备及实现 | 第48-53页 |
| ·传感器工艺制备流程 | 第48-52页 |
| ·传感器工艺优化方向 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 5 SiC 高温压力传感器的结构测试与分析 | 第55-67页 |
| ·前言 | 第55页 |
| ·电容压敏结构性能探究 | 第55-59页 |
| ·电容压敏结构的制备 | 第55-58页 |
| ·压敏电容密封性实验 | 第58-59页 |
| ·玻璃浆料密封性能探究 | 第59-63页 |
| ·超声扫描显微镜测试 | 第60-62页 |
| ·激光扫描显微镜测试 | 第62-63页 |
| ·传感器均匀压力测试 | 第63-66页 |
| ·测试平台的搭建 | 第63-64页 |
| ·测试结果的分析 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士期间发表论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |