| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·柔性微阵列 LED 的特点及应用 | 第11-12页 |
| ·柔性微阵列 LED 的发展 | 第12-18页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 柔性 LED 材料的选取及工作原理 | 第20-32页 |
| ·AlGaInP 的材料特性 | 第20-22页 |
| ·AlGaInP-LED 外延片结构 | 第22-23页 |
| ·AlGaInP-LED 的工作原理 | 第23-24页 |
| ·AlGaInP DH-LED PN 结的 I-V 特性理论分析 | 第24-29页 |
| ·AlGaInP DH-LED PN 结模拟分析 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 AlGaInP 柔性微阵列 LED 器件设计 | 第32-54页 |
| ·柔性 AlGaInP 微显示器件的结构设计 | 第32-36页 |
| ·柔性材料的选择与制备 | 第36-42页 |
| ·柔性 AlGaInP 微显示器件制作流程的设计 | 第42-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 柔性 AlGaInP 微显示器件的制作技术研究 | 第54-74页 |
| ·湿法腐蚀制备隔离沟槽 | 第54-67页 |
| ·干法刻蚀与湿法腐蚀相结合制备隔离沟槽 | 第67-71页 |
| ·衬底减薄实验 | 第71-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第5章 总结 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第79-80页 |
| 指导教师及作者简介 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
