| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-27页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·湿度传感器发展现状 | 第13-16页 |
| ·陶瓷型湿度传感器 | 第14-15页 |
| ·高分子湿度传感器 | 第15-16页 |
| ·碳纳米管湿度传感器研究现状 | 第16-25页 |
| ·石英晶振型碳纳米管湿度传感器 | 第17-18页 |
| ·场发射型碳纳米管湿度传感器 | 第18-19页 |
| ·场效应型碳纳米管湿度传感器 | 第19-20页 |
| ·电容型碳纳米管湿度传感器 | 第20-22页 |
| ·电阻型碳纳米管湿度传感器 | 第22-24页 |
| ·碳纳米管湿度传感器研究存在的主要问题 | 第24-25页 |
| ·研究的目的和意义 | 第25页 |
| ·论文主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 碳纳米管湿度传感器工作原理与模型建立 | 第27-51页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·传统碳纳米管湿度传感器工作原理 | 第27-31页 |
| ·电容型碳纳米管湿度传感器工作原理 | 第27-28页 |
| ·电阻型碳纳米管湿度传感器工作原理 | 第28-31页 |
| ·基于交流信号检测的碳纳米管湿度传感器工作原理 | 第31-37页 |
| ·介质极化基本理论 | 第31-34页 |
| ·碳纳米管湿度传感器电容的介电弛豫效应 | 第34-37页 |
| ·碳纳米管湿度传感器电导的介电弛豫效应 | 第37页 |
| ·电阻型碳纳米管湿度传感器模型研究 | 第37-49页 |
| ·介质极化弛豫基本模型 | 第38-42页 |
| ·电阻型碳纳米管湿度传感器基本电学模型分析 | 第42-44页 |
| ·基于交流信号检测的电阻型碳纳米管湿度传感器模型建立 | 第44-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第3章 基于交流信号检测的碳纳米管湿度传感器实验验证 | 第51-72页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·碳纳米管湿度传感器结构制作与测试系统 | 第51-58页 |
| ·碳纳米管湿度传感器结构 | 第51-52页 |
| ·碳纳米管预处理 | 第52-54页 |
| ·碳纳米管湿度传感器制作工艺 | 第54-56页 |
| ·碳纳米管湿度传感器测试系统 | 第56-58页 |
| ·碳纳米管湿度传感器电容频率特性实验研究 | 第58-63页 |
| ·碳纳米管湿度传感器电容值随频率变化规律 | 第58页 |
| ·碳纳米管湿度传感器电容变化量随频率变化规律 | 第58-63页 |
| ·碳纳米管湿度传感器电导频率特性研究 | 第63-70页 |
| ·碳纳米管湿度传感器电导值频率特性 | 第63-64页 |
| ·碳纳米管湿度传感器电导变化量随频率变化规律 | 第64-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第4章 电阻型碳纳米管湿度传感器模型验证 | 第72-82页 |
| ·引言 | 第72页 |
| ·电阻型碳纳米管湿度传感器接触电阻的验证 | 第72-73页 |
| ·基于介电弛豫效应的电阻型碳纳米管湿度传感器模型实验验证 | 第73-81页 |
| ·传感器敏感薄膜极化弛豫模型验证 | 第73-75页 |
| ·毛细凝聚液态水的极化弛豫模型验证 | 第75-77页 |
| ·基于介电弛豫效应的电阻型碳纳米管湿度传感器模型验证 | 第77-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第5章 电阻型碳纳米管湿度传感器性能测试与分析 | 第82-99页 |
| ·引言 | 第82页 |
| ·电阻型碳纳米管湿度传感器稳定性研究 | 第82-90页 |
| ·电阻型碳纳米管湿度传感器稳定性机理研究 | 第82-87页 |
| ·测试电压对电阻型碳纳米管湿度传感器稳定性的影响 | 第87-89页 |
| ·测试频率对电阻型碳纳米管湿度传感器稳定性的影响 | 第89-90页 |
| ·电阻型碳纳米管湿度传感器线性度与灵敏度分析 | 第90-93页 |
| ·基于交流信号检测的电阻型碳纳米管湿度传感器温度特性 | 第93-95页 |
| ·基于交流信号检测的电阻型碳纳米管湿度传感器湿滞特性 | 第95-96页 |
| ·基于交流信号检测的电阻型碳纳米管湿度传感器重复性与响应时间 | 第96-97页 |
| ·本章小结 | 第97-99页 |
| 结论 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-110页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第110-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 个人简历 | 第113页 |
