相移点衍射干涉仪深亚纳米精度参考波前研究
摘要 | 第1-8页 |
Abstract | 第8-12页 |
目录 | 第12-14页 |
第1章 绪论 | 第14-30页 |
·课题研究背景及意义 | 第14-18页 |
·相关领域的研究现状 | 第18-28页 |
·研究目的 | 第28页 |
·论文章节内容安排 | 第28-30页 |
第2章 点衍射相关基础理论 | 第30-54页 |
·点衍射矢量理论分析的必要性 | 第30-31页 |
·基于理查德-沃尔夫矢量积分公式的光波场聚焦 | 第31-35页 |
·点衍射的矢量瑞利-索末菲衍射积分公式分析法 | 第35-39页 |
·点衍射的 FDTD 分析方法 | 第39-44页 |
·点衍射干涉仪中矢量光波的干涉 | 第44-47页 |
·基于格拉姆-施密特正交化的矢量多项式波面拟合 | 第47-53页 |
·本章小结 | 第53-54页 |
第3章 光纤衍射参考波前质量分析 | 第54-66页 |
·引言 | 第54页 |
·单模光纤的空间滤波作用 | 第54-58页 |
·单模光纤衍射远场波前质量分析 | 第58-65页 |
·本章小结 | 第65-66页 |
第4章 理想微孔衍射参考波前质量分析 | 第66-88页 |
·引言 | 第66页 |
·微孔照明聚焦光场分布 | 第66-78页 |
·照明光波倾斜对衍射参考波前质量的影响 | 第78-81页 |
·照明物镜像差对衍射参考波前质量的影响 | 第81-84页 |
·照明光波偏振态对衍射参考波前质量的影响 | 第84-86页 |
·本章小结 | 第86-88页 |
第5章 微孔圆度误差对衍射参考波前质量影响分析 | 第88-102页 |
·引言 | 第88页 |
·微孔圆度误差模型 | 第88-93页 |
·微孔圆度误差对衍射参考波前质量影响分析 | 第93-101页 |
·本章小结 | 第101-102页 |
第6章 微孔衍射参考波前质量的 FDTD 分析 | 第102-122页 |
·引言 | 第102页 |
·FDTD 仿真计算模型与参数 | 第102-104页 |
·FDTD 仿真计算结果 | 第104-120页 |
·本章小结 | 第120-122页 |
第7章 衍射参考波前质量的实验研究 | 第122-142页 |
·引言 | 第122-123页 |
·基于杨氏双孔干涉实验的衍射参考波前偏差测量 | 第123-134页 |
·实验装置及相关参数测量 | 第134-136页 |
·实验结果与分析 | 第136-141页 |
·本章小结 | 第141-142页 |
第8章 研究总结与展望 | 第142-146页 |
·论文研究总结 | 第142-143页 |
·研究工作展望 | 第143-146页 |
参考文献 | 第146-160页 |
附录 | 第160-164页 |
在学期间学术成果情况 | 第164-166页 |
指导教师及作者简介 | 第166-168页 |
致谢 | 第168页 |