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相移点衍射干涉仪深亚纳米精度参考波前研究

摘要第1-8页
Abstract第8-12页
目录第12-14页
第1章 绪论第14-30页
   ·课题研究背景及意义第14-18页
   ·相关领域的研究现状第18-28页
   ·研究目的第28页
   ·论文章节内容安排第28-30页
第2章 点衍射相关基础理论第30-54页
   ·点衍射矢量理论分析的必要性第30-31页
   ·基于理查德-沃尔夫矢量积分公式的光波场聚焦第31-35页
   ·点衍射的矢量瑞利-索末菲衍射积分公式分析法第35-39页
   ·点衍射的 FDTD 分析方法第39-44页
   ·点衍射干涉仪中矢量光波的干涉第44-47页
   ·基于格拉姆-施密特正交化的矢量多项式波面拟合第47-53页
   ·本章小结第53-54页
第3章 光纤衍射参考波前质量分析第54-66页
   ·引言第54页
   ·单模光纤的空间滤波作用第54-58页
   ·单模光纤衍射远场波前质量分析第58-65页
   ·本章小结第65-66页
第4章 理想微孔衍射参考波前质量分析第66-88页
   ·引言第66页
   ·微孔照明聚焦光场分布第66-78页
   ·照明光波倾斜对衍射参考波前质量的影响第78-81页
   ·照明物镜像差对衍射参考波前质量的影响第81-84页
   ·照明光波偏振态对衍射参考波前质量的影响第84-86页
   ·本章小结第86-88页
第5章 微孔圆度误差对衍射参考波前质量影响分析第88-102页
   ·引言第88页
   ·微孔圆度误差模型第88-93页
   ·微孔圆度误差对衍射参考波前质量影响分析第93-101页
   ·本章小结第101-102页
第6章 微孔衍射参考波前质量的 FDTD 分析第102-122页
   ·引言第102页
   ·FDTD 仿真计算模型与参数第102-104页
   ·FDTD 仿真计算结果第104-120页
   ·本章小结第120-122页
第7章 衍射参考波前质量的实验研究第122-142页
   ·引言第122-123页
   ·基于杨氏双孔干涉实验的衍射参考波前偏差测量第123-134页
   ·实验装置及相关参数测量第134-136页
   ·实验结果与分析第136-141页
   ·本章小结第141-142页
第8章 研究总结与展望第142-146页
   ·论文研究总结第142-143页
   ·研究工作展望第143-146页
参考文献第146-160页
附录第160-164页
在学期间学术成果情况第164-166页
指导教师及作者简介第166-168页
致谢第168页

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