多自由度压电执行器驱动的运动平台研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·多自由度超声电机发展概述 | 第11-13页 |
| ·多自由度运动平台发展概述 | 第13-15页 |
| ·论文的意义、来源与研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 二自由度超声电机的结构设计与研究 | 第17-30页 |
| ·电机总体结构 | 第17-20页 |
| ·定子结构 | 第17-18页 |
| ·模态分析 | 第18-20页 |
| ·驱动机理及谐响应分析 | 第20-26页 |
| ·驱动机理 | 第20-22页 |
| ·谐响应分析 | 第22-23页 |
| ·定子结构 | 第23页 |
| ·扫频实验 | 第23-26页 |
| ·超声电机驱动器 | 第26-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第三章 堆叠式两维运动平台及相关实验 | 第30-34页 |
| ·堆叠式两维运动平台结构及原理 | 第30-31页 |
| ·两自由度运动平台实验 | 第31-33页 |
| ·不同预紧力下速度实验 | 第31-32页 |
| ·一定预紧力下牵引力实验 | 第32-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 第四章 单板式两维运动平台整体设计与关键技术 | 第34-42页 |
| ·二维运动平台整体结构设计 | 第34-35页 |
| ·整体结构设计 | 第34-35页 |
| ·材料选择 | 第35页 |
| ·结构设计中的关键技术 | 第35-39页 |
| ·导向结构的研究 | 第35-37页 |
| ·预紧机构的研究 | 第37-39页 |
| ·二自由度运动平台整体结构 | 第39-40页 |
| ·速度测量 | 第40页 |
| ·小结 | 第40-42页 |
| 第五章 单板式两维运动平台检测系统与相关实验 | 第42-55页 |
| ·光电位置传感器件 PSD | 第42-47页 |
| ·PSD 器件的结构与工作原理 | 第42-44页 |
| ·一维 PSD 器件 | 第44页 |
| ·二维 PSD 器件 | 第44-46页 |
| ·PSD 的主要特性 | 第46-47页 |
| ·PSD 标定 | 第47-51页 |
| ·两维运动平台试验 | 第51-53页 |
| ·轴向方向测量试验 | 第51-53页 |
| ·x、y 联动的测量试验 | 第53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 第六章 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·本文的主要贡献 | 第55-56页 |
| ·课题的进一步研究方向 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第62-63页 |
| 附录 | 第63页 |
