超精密硅片磨床进给系统爬行现象仿真及抑制
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题研究背景 | 第9页 |
| ·爬行现象及其研究现状 | 第9-16页 |
| ·爬行现象的起因 | 第9-13页 |
| ·爬行现象的定义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-16页 |
| ·课题研究意义及主要内容 | 第16-17页 |
| ·课题研究意义 | 第16-17页 |
| ·主要研究内容 | 第17页 |
| 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 超精密硅片磨床进给系统分析 | 第18-22页 |
| ·超精密硅片磨床进给系统结构分析 | 第18-21页 |
| ·进给系统的工作原理 | 第18页 |
| ·进给系统的结构组成 | 第18-19页 |
| ·进给系统的性能要求 | 第19-20页 |
| ·进给系统的设计参数 | 第20-21页 |
| ·爬行研究的方案设计 | 第21页 |
| 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 基于理论的爬行现象分析 | 第22-30页 |
| ·原理及流程 | 第22页 |
| ·超精密硅片磨床进给系统数学模型 | 第22-24页 |
| ·超精密硅片磨床进给系统爬行现象模型 | 第24-28页 |
| ·爬行现象的力学模型 | 第24-25页 |
| ·爬行现象的数学模型 | 第25-27页 |
| ·爬行现象的临界速度 | 第27-28页 |
| 本章小结 | 第28-30页 |
| 第四章 基于动力学仿真的爬行现象分析 | 第30-40页 |
| ·原理及流程 | 第30-35页 |
| ·虚拟样机技术概述 | 第30-33页 |
| ·设计流程 | 第33-35页 |
| ·超精密硅片磨床进给系统虚拟样机建立 | 第35-37页 |
| ·模型导入 | 第35页 |
| ·工作环境设置 | 第35页 |
| ·编辑构件 | 第35-36页 |
| ·创建约束副 | 第36页 |
| ·模型验证 | 第36-37页 |
| ·施加气缸平衡作用力与摩擦力 | 第37页 |
| ·定义电机驱动 | 第37页 |
| ·刚柔耦合样机的建立 | 第37-38页 |
| ·进给仿真与结果分析 | 第38-39页 |
| 本章小结 | 第39-40页 |
| 第五章 影响爬行现象的因素分析及抑制爬行的措施 | 第40-53页 |
| ·影响爬行现象的因素分析 | 第40-48页 |
| ·刚度对爬行现象的影响 | 第40-43页 |
| ·质量对爬行现象的影响 | 第43-45页 |
| ·动静摩擦系数之差对爬行现象的影响 | 第45-48页 |
| ·抑制爬行采用的措施分析 | 第48-50页 |
| ·通过改变刚度抑制爬行 | 第48页 |
| ·通过改变质量抑制爬行 | 第48-49页 |
| ·通过改变动静摩擦之差抑制爬行 | 第49-50页 |
| ·利用附加子系统抑制爬行 | 第50页 |
| ·改进前后对比图 | 第50-51页 |
| 本章小结 | 第51-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
