磁控溅射法制备YSZ电解质薄膜及其在SOFC中的应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-27页 |
| ·课题研究背景 | 第10-11页 |
| ·固体氧化物燃料电池（SOFC）概述 | 第11-15页 |
| ·工作原理 | 第11-12页 |
| ·SOFC 组成 | 第12页 |
| ·SOFC 国内外研究概况 | 第12-15页 |
| ·电解质薄膜制备方法 | 第15-19页 |
| ·陶瓷粉末成型法 | 第15-18页 |
| ·化学方法 | 第18页 |
| ·物理方法 | 第18-19页 |
| ·磁控溅射技术介绍 | 第19-25页 |
| ·磁控溅射技术原理 | 第20-22页 |
| ·磁控溅射成膜过程 | 第22-24页 |
| ·溅射YSZ 薄膜研究现状 | 第24-25页 |
| ·本课题目的及主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 实验材料及测试研究方法 | 第27-32页 |
| ·实验药品及主要仪器设备 | 第27-29页 |
| ·实验药品 | 第27-28页 |
| ·主要仪器设备 | 第28页 |
| ·磁控溅射镀膜设备 | 第28-29页 |
| ·测试方法 | 第29-32页 |
| ·物相组成的测试 | 第29-30页 |
| ·显微结构的测试 | 第30页 |
| ·陶瓷孔隙率的测试 | 第30页 |
| ·单体电池放电性能测试 | 第30-31页 |
| ·电化学阻抗谱测试 | 第31-32页 |
| 第3章 磁控溅射方法制备YSZ 薄膜工艺的优化 | 第32-58页 |
| ·溅射工艺流程 | 第32-33页 |
| ·基准工艺参数的确定 | 第33-36页 |
| ·YSZ 电解质薄膜微观结构分析 | 第34页 |
| ·YSZ 电解质薄膜XRD 物相分析 | 第34-35页 |
| ·组装电池的放电性能测试 | 第35-36页 |
| ·沉积时间对YSZ 薄膜的影响 | 第36-42页 |
| ·不同沉积时间YSZ 电解质薄膜显微结构的演变 | 第36-39页 |
| ·沉积时间对电池开路电压的影响 | 第39-41页 |
| ·沉积时间对电池放电性能的影响 | 第41-42页 |
| ·工作气压对YSZ 薄膜性能的影响 | 第42-45页 |
| ·工作气压对沉积速率的影响 | 第42-43页 |
| ·工作气压对电池开路电压的影响 | 第43页 |
| ·工作气压对电池放电性能的影响 | 第43-45页 |
| ·溅射功率对YSZ 薄膜沉积速率的影响 | 第45-46页 |
| ·热处理温度对YSZ 薄膜结构及性能的影响 | 第46-52页 |
| ·热处理温度对YSZ 薄膜显微结构的影响 | 第46-47页 |
| ·热处理温度对电池放电性能的影响 | 第47-49页 |
| ·热处理温度对电池阻抗的影响 | 第49-52页 |
| ·热处理温度对电池微观结构的影响 | 第52页 |
| ·溅射衬底温度对YSZ 薄膜结构及性能的影响 | 第52-56页 |
| ·衬底温度对YSZ 微观形貌的影响 | 第52-54页 |
| ·衬底温度对电池放电性能的影响 | 第54-55页 |
| ·衬底温度对电池阻抗的影响 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第4章 YSZ 电解质薄膜在SOFC 中的应用 | 第58-73页 |
| ·预烧温度对电池性能的影响 | 第58-62页 |
| ·预烧温度对YSZ 电解质形貌的影响 | 第59-60页 |
| ·预烧温度对电池阻抗的影响 | 第60-61页 |
| ·预烧温度对电池放电性能的影响 | 第61-62页 |
| ·流延阳极作为基体的电池性能研究 | 第62-69页 |
| ·流延法制备NiO-YSZ 阳极 | 第62-64页 |
| ·溅射YSZ 电解质薄膜 | 第64-65页 |
| ·流延阳极基体对应电池放电性能 | 第65-67页 |
| ·流延阳极基体对应电池阻抗分析 | 第67-69页 |
| ·流延阳极和压片阳极性能对比分析 | 第69-71页 |
| ·放电性能对比分析 | 第69-71页 |
| ·微观形貌对比分析 | 第71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
