一种集成3-D MEMS力传感器的微夹持器的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·国内外发展动态 | 第10-15页 |
| ·微夹持器发展现状 | 第10-12页 |
| ·微力传感器发展现状 | 第12-13页 |
| ·带力感知的微夹持器的发展现状 | 第13-15页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 微夹持器设计 | 第16-27页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·微观力学分析 | 第16-18页 |
| ·微夹持器总体方案设计 | 第18-20页 |
| ·设计目标 | 第18页 |
| ·驱动方式选择 | 第18-19页 |
| ·结构设计 | 第19-20页 |
| ·微位移放大机构设计 | 第20-26页 |
| ·微位移放大机构结构设计 | 第20-22页 |
| ·微位移放大机构变形抗力分析 | 第22-24页 |
| ·放大机构有限元仿真分析 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 压阻式微力传感器设计 | 第27-44页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·微力传感器工作原理及其设计原则 | 第27-31页 |
| ·硅的压阻效应 | 第27-28页 |
| ·压阻系数 | 第28-29页 |
| ·工作原理 | 第29-30页 |
| ·压阻式传感器设计基本原则 | 第30-31页 |
| ·传感器力学分析 | 第31-37页 |
| ·传感器结构形式的确定 | 第31-32页 |
| ·传感器数学模型的建立 | 第32-35页 |
| ·传感器的有限元仿真分析 | 第35-37页 |
| ·传感器设计 | 第37-40页 |
| ·材料的选择 | 第37页 |
| ·电阻条位置的确定 | 第37-39页 |
| ·力敏电阻条的设计 | 第39-40页 |
| ·微力传感器的制备 | 第40-43页 |
| ·微机械制作技术 | 第40-41页 |
| ·传感器制备流程 | 第41-43页 |
| ·传感器后处理 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 传感器标定及性能测定 | 第44-56页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·信号调理电路的研制 | 第44-45页 |
| ·传感器标定 | 第45-52页 |
| ·标定方法 | 第45-50页 |
| ·传感器标定矩阵 | 第50-51页 |
| ·传感器标定误差来源分析 | 第51-52页 |
| ·传感器性能指标测试 | 第52-55页 |
| ·精度测试 | 第52-53页 |
| ·分辨率测试 | 第53-54页 |
| ·静态耦合率测试 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 实验研究 | 第56-60页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·微夹持器性能测试 | 第56-57页 |
| ·夹持实验 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第65-66页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
