激光直写机的光功率控制系统研究与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·国内外激光直写技术的研究现状 | 第10-14页 |
| ·国外激光直写技术的发展现状 | 第10-13页 |
| ·国内激光直写技术的发展现状 | 第13-14页 |
| ·光功率控制技术的发展现状 | 第14-15页 |
| ·课题的来源及研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 总体方案 | 第17-23页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·激光直写系统总体方案 | 第17-18页 |
| ·光功率控制系统 | 第18-22页 |
| ·光功率控制方法介绍 | 第18-21页 |
| ·光功率控制方案选择 | 第21页 |
| ·光功率控制系统总体方案 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 声光调制器的基本原理及控制系统仿真 | 第23-35页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·声光调制器的基本原理 | 第23-27页 |
| ·振荡频率与衍射方向的关系 | 第23-24页 |
| ·衍射光光功率与调制电压之间的关系 | 第24-26页 |
| ·声光调制器的选择 | 第26-27页 |
| ·声光调制器的系统辨识 | 第27-32页 |
| ·控制系统仿真设计 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第4章 光功率控制系统设计 | 第35-41页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·光电转换电路 | 第35页 |
| ·A/D转换电路 | 第35-37页 |
| ·D/A转换电路 | 第37页 |
| ·RS-232 接口电路 | 第37-38页 |
| ·其它辅助电路 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第5章 软件设计 | 第41-50页 |
| ·引言 | 第41-42页 |
| ·PID控制算法 | 第42-46页 |
| ·PID控制算法原理 | 第42-44页 |
| ·PID算法在FPGA中的实现 | 第44-46页 |
| ·串口通信的实现 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第6章 实验测试及结果 | 第50-56页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·激光器输出光功率漂移测定实验 | 第50页 |
| ·+1 级衍射光稳定性实验 | 第50-52页 |
| ·声光调制器输入输出关系测量实验 | 第52-54页 |
| ·引入控制系统的+1 级衍射光稳定性实验 | 第54-55页 |
| ·引入控制系统的+1 级衍射光的阶跃响应 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 附录1 实验数据 | 第61-63页 |
| 附录2 实验装置实物图 | 第63-65页 |
| 附录3 电路板实物图 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
