| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·地磁测量的重要意义 | 第8-11页 |
| ·AMR传感器用于地磁测量的可行性探讨 | 第11-15页 |
| ·本文的主要研究工作及进展 | 第15-17页 |
| 2 AMR传感器的原理、性能指标及其主要优化途径 | 第17-24页 |
| ·AMR效应的基本原理 | 第17-18页 |
| ·AMR传感器的主要性能指标 | 第18-21页 |
| ·优化AMR传感器性能的主要途径 | 第21-24页 |
| 3 AMR磁阻材料的制备 | 第24-29页 |
| ·薄膜的制备原理及工艺条件 | 第24-26页 |
| ·溅射速率及薄膜成分的标定 | 第26-29页 |
| 4 实验结果及分析 | 第29-48页 |
| ·单层NiFe薄膜的磁特性研究 | 第29-31页 |
| ·NiFeCr种子层对NiFe磁阻特性的影响 | 第31-35页 |
| ·Al_2O_3作为种子层及掺杂层对NiFe磁阻特性的影响 | 第35-38页 |
| ·退火对薄膜磁阻特性的影响 | 第38-45页 |
| ·实验小结 | 第45-48页 |
| 5 AMR传感器结构设计及其制备 | 第48-60页 |
| ·AMR传感器的基本结构概述 | 第48-50页 |
| ·惠斯通电桥结构的设计思路 | 第50-52页 |
| ·barber电极的设计思路 | 第52-53页 |
| ·置位/复位电流带和偏置电流带 | 第53-56页 |
| ·版图设计结果及主要工艺流程 | 第56-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·工作总结 | 第60-61页 |
| ·下一步工作展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |