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薄膜场发射阴极

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 引言第9-37页
   ·平板显示产业发展现状第9-13页
   ·场发射显示的原理和场致发射理论第13-15页
     ·场发射显示原理第13页
     ·场致发射的基本原理第13-15页
   ·场发射显示阴极的研究进展第15-33页
     ·微尖型FED 阴极的研究进展第15-16页
     ·基于碳材料的FED 阴极的研究进展第16-17页
     ·薄膜FED 阴极的研究进展第17-33页
   ·本论文的选题思路和主要研究内容第33-37页
     ·高亮度大屏幕显示对 FED 阴极的基本要求第33-34页
     ·本论文的选题思路和研究内容第34-36页
     ·论文的章节安排第36-37页
第2章 以Zn_(0.75)Mg_(0.25)O 为半导体层的MISM 型纵向薄膜FED 阴极第37-57页
   ·本章引言第37-38页
   ·Zn_(1-x)Mg_xS 粉末和薄膜的制备与分析第38-43页
     ·Zn_(1-x)Mg_xS 粉末的制备第38-39页
     ·Zn_(1-x)Mg_xS 粉末的 X 射线衍射分析结果第39-42页
     ·Zn_(1-x)Mg_xS 薄膜的制备和存在的问题第42-43页
   ·采用Zn_(1-x)Mg_xO 薄膜作半导体层的MISM 型纵向薄膜FED 阴极第43-55页
     ·Zn_(1-x)Mg_xO 的性质和制作方法第43-44页
     ·以Zn_(0.75)Mg_(0.25)O 为半导体层的MISM 型阴极的制作工艺第44-45页
     ·以Zn_(0.75)Mg_(0.25)O 为半导体层的MISM 型阴极的测试结果及存在问题分析第45-49页
     ·金属界面态控制层的引入第49-52页
     ·以Zn_(0.75)Mg_(0.25)O 为半导体层的MISM 型 FED 阴极的结构优化第52-55页
   ·本章小结第55-57页
第3章 基于腐蚀多孔氧化铝表面的碳-金-碳复合膜的横向薄膜FED 阴极第57-75页
   ·本章引言第57-63页
     ·本章研究思路第57-58页
     ·无定形碳薄膜的制作方法和性质第58-61页
     ·多孔氧化铝工艺简介第61-63页
   ·实验部分――采用多孔氧化铝工艺形成不连续薄膜第63-67页
   ·实验结果与分析第67-73页
     ·腐蚀后形成的多孔氧化铝形貌第67-68页
     ·电形成过程第68-70页
     ·碳-金-碳复合传导膜的使用第70-71页
     ·基于腐蚀后多孔氧化铝和碳-金-碳复合传导膜的阴极的电子发射特性第71-73页
   ·本章小结与问题分析第73-75页
第4章 基于干法刻蚀形成的不连续碳膜的横向薄膜FED 阴极研究第75-96页
   ·本章引言第75页
   ·不连续金属铋膜的性质第75-78页
   ·不连续碳膜的制备第78-80页
   ·阴极电子发射的测试结果及分析第80-90页
     ·不连续碳薄膜中岛的纵向和横向尺寸对电子发射特性的影响第80-86页
     ·电形成过程引起的玻璃衬底变形对电子发射特性的影响第86-88页
     ·阳极电压对发射电流的影响第88页
     ·真空度对阴极电子发射特性的影响第88-89页
     ·基于刻蚀形成的不连续膜的横向电子场发射阴极稳定性测试第89-90页
   ·基于不连续碳膜的横向电子发射阴极的电子发射原理第90-94页
   ·本章小结第94-96页
第5章 结论第96-98页
参考文献第98-105页

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