透过率均变密度片及控制装置研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1. 课题背景及目标 | 第8-19页 |
| ·光学仪器及其用途 | 第8-9页 |
| ·分光光度计的组成 | 第9-15页 |
| ·课题目标 | 第15-19页 |
| 2. 薄膜分布规律的推算 | 第19-34页 |
| ·薄膜光学的基本定律和概念 | 第19-23页 |
| ·单层膜的相干 | 第23-27页 |
| ·倾斜入射时单层金属膜的反射与透射 | 第27-31页 |
| ·垂直入射时单层金属膜的反射与透射 | 第31-34页 |
| 3. 镀膜装置及驱动电机的选择 | 第34-44页 |
| ·镀膜机构 | 第34-36页 |
| ·驱动电机的选择 | 第36-41页 |
| ·步进电机运转过程的其它要求 | 第41-43页 |
| ·单片机控制的步进电机转动控制解决方案 | 第43-44页 |
| 4. 步进电机的驱动与控制 | 第44-59页 |
| ·步进电机特性 | 第44-45页 |
| ·L297与L298的连接 | 第45-49页 |
| ·步进电机驱动板 | 第49-50页 |
| ·单片机控制系统(板) | 第50-55页 |
| ·系统控制程序 | 第55-59页 |
| 5. 样品的试制及线性调整 | 第59-66页 |
| ·真空镀膜 | 第59页 |
| ·镀膜装置介绍及薄膜沉积状态分析 | 第59-61页 |
| ·挡板运动参数的调整 | 第61-66页 |
| 6. 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 附录1——步进电机控制程序 | 第69-72页 |
| 附录2——薄膜计算的程序 | 第72-73页 |
| 附录3——控制板PCB图 | 第73-74页 |
| 附录4——驱动板PCB图 | 第74-75页 |
| 在学研究成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
