硅微电容式、隧道式加速度计检测技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-26页 |
| ·硅微加速度计概述 | 第10-19页 |
| ·基本原理及分类 | 第10-15页 |
| ·电容式加速度计的国内外概况 | 第15-16页 |
| ·隧道式加速度计的国内外概况 | 第16-19页 |
| ·硅微传感器微弱信号检测技术 | 第19-22页 |
| ·微弱信号检测技术概述 | 第19-20页 |
| ·硅微传感器减小系统噪声的措施 | 第20-22页 |
| ·集成电路概述 | 第22-24页 |
| ·半导体集成电路 | 第22页 |
| ·膜集成电路 | 第22页 |
| ·混合集成电路 | 第22-23页 |
| ·三种集成电路的特点及比较 | 第23-24页 |
| ·论文的主要工作 | 第24-26页 |
| 2 硅微电容式加速度计检测技术研究 | 第26-46页 |
| ·电容式加速度计的工作原理 | 第26-27页 |
| ·系统的噪声 | 第27-29页 |
| ·机械敏感部分的噪声 | 第27-28页 |
| ·检测电路部分的噪声 | 第28-29页 |
| ·检测电路设计的理论基础 | 第29-35页 |
| ·偏置电压和驱动电压极性的选取 | 第29-31页 |
| ·闭环控制理论与方法 | 第31-35页 |
| ·硅微电容式加速度计检测电路设计 | 第35-46页 |
| ·常规微小电容的检测 | 第35-36页 |
| ·差分电容式加速度计检测电路设计 | 第36-44页 |
| ·电路性能测试 | 第44-46页 |
| 3 隧道式加速度计检测技术研究 | 第46-55页 |
| ·隧道检测的理论基础——隧道效应 | 第46-47页 |
| ·隧道式加速度计的噪声 | 第47页 |
| ·隧道式加速度计的微小电流检测电路设计 | 第47-53页 |
| ·I-V转换电路 | 第48-49页 |
| ·主放大电路 | 第49-50页 |
| ·反馈电路 | 第50-52页 |
| ·稳压模块 | 第52-53页 |
| ·微小电流的性能测试 | 第53-55页 |
| 4 硅微电容式、隧道式加速度传感器的测试 | 第55-71页 |
| ·硅微电容式加速度计的测试 | 第55-61页 |
| ·传感器的静态线性度测试 | 第55-56页 |
| ·传感器的静态噪声测试 | 第56-57页 |
| ·传感器的动态测试 | 第57-59页 |
| ·传感器的频响测试 | 第59-60页 |
| ·传感器的动态噪声测试 | 第60-61页 |
| ·硅微隧道式加速度计的仿真与测试 | 第61-71页 |
| ·隧道式加速度计的系统仿真 | 第61页 |
| ·常压下的系统仿真 | 第61-64页 |
| ·真空封装时的系统仿真 | 第64-65页 |
| ·PID设计仿真 | 第65-68页 |
| ·隧道加速度计的开环测试 | 第68-70页 |
| ·隧道加速度传感器的噪声测试 | 第70-71页 |
| 5 厚膜混合集成电容式加速度传感器的制作 | 第71-82页 |
| ·电容式加速度传感器厚膜混合集成的设计 | 第71-74页 |
| ·元器件选择 | 第71页 |
| ·材料选择 | 第71-72页 |
| ·电容式加速度传感器的厚膜混合集成版图 | 第72-74页 |
| ·厚膜混合集成电容式加速度传感器工艺 | 第74-79页 |
| ·丝网印刷工序 | 第74-75页 |
| ·烧结工序 | 第75-77页 |
| ·再流焊接工序 | 第77-78页 |
| ·键和工序 | 第78-79页 |
| ·电容式加速度传感器的封装及测试 | 第79-82页 |
| ·封装 | 第79-81页 |
| ·测试 | 第81-82页 |
| 6 结论与展望 | 第82-84页 |
| ·论文的主要研究内容及结论 | 第82-83页 |
| ·展望 | 第83-84页 |
| 附录 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 攻读硕士期间的主要研究工作及所取得的研究成果 | 第93页 |
