| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-27页 |
| ·掺铒光波导放大器的研究背景 | 第11-17页 |
| ·光纤通信 | 第12-13页 |
| ·掺铒光纤放大器 | 第13-15页 |
| ·光集成 | 第15页 |
| ·掺铒光波导放大器(EDWA) | 第15-17页 |
| ·EDWA和掺Er薄膜研究现状 | 第17-21页 |
| ·EDWA研究现状 | 第17-19页 |
| ·掺Er薄膜研究现状 | 第19-21页 |
| ·掺Er薄膜制备工艺 | 第21-25页 |
| ·离子注入法 | 第22页 |
| ·溶胶—凝胶法(Sol-Gel) | 第22-23页 |
| ·射频磁控溅射技术(Radio-frequency Magnetron Sputtering) | 第23-24页 |
| ·等离子体辅助化学气相沉积(PECVD) | 第24页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第24-25页 |
| ·本论文研究目的及主要内容 | 第25-27页 |
| 2 Er~(3+)光谱理论和薄膜制备工艺研究 | 第27-50页 |
| ·镧系元素简介 | 第27-30页 |
| ·稀土元素发展史 | 第27-28页 |
| ·镧系元素电子层结构和能级 | 第28-30页 |
| ·Er~(3+)光谱理论 | 第30-38页 |
| ·受激吸收、受激发射、自发辐射和非辐射跃迁 | 第30-31页 |
| ·Er~(3+)之间能量传递机制 | 第31-33页 |
| ·Er~(3+)、Yb~(3+)之间能量传递机制 | 第33-34页 |
| ·Er~(3+)与声子的能量传递 | 第34-35页 |
| ·Er~(3+)各能级粒子数速率方程 | 第35-36页 |
| ·Er~(3+)离子荧光线形 | 第36-37页 |
| ·退火处理对Er~(3+)荧光的影响 | 第37-38页 |
| ·射频磁控溅射制备光学薄膜的工艺研究 | 第38-50页 |
| ·射频磁控溅射技术 | 第38-40页 |
| ·射频磁控溅射技术制备掺Er-Al_2O_3薄膜的沉积速率 | 第40-43页 |
| ·放电条件对射频磁控溅射成膜空间中等离子体成分的影响 | 第43-50页 |
| 3 Er／Yb共掺Al_2O_3薄膜的结构与荧光特性 | 第50-75页 |
| ·Er／Yb掺入比例对Er／Yb共掺Al_2O_3薄膜荧光光谱的影响 | 第50-56页 |
| ·Er／Yb共掺Al_2O_3薄膜的制备与分析方法 | 第51页 |
| ·Er／Yb共掺Al_2O_3薄膜成份分析 | 第51-54页 |
| ·Yb掺杂浓度对Er／Yb共掺Al_2O_3薄膜荧光特性的影响 | 第54-56页 |
| ·退火温度对Er／Yb共掺Al_2O_3薄膜荧光特性的影响 | 第56-73页 |
| ·Er／Yb共掺Al_2O_3薄膜的制备与分析方法 | 第56-57页 |
| ·Er／Yb共掺Al_2O_3薄膜的荧光特性 | 第57-63页 |
| ·Er／Yb共掺Al_2O_3薄膜的微观结构 | 第63-69页 |
| ·退火温度对薄膜光损耗的影响 | 第69-70页 |
| ·退火温度对薄膜折射率的影响 | 第70-73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 4 Er／Yb共掺ZnO、TiO_2薄膜的结构与荧光特性 | 第75-88页 |
| ·Er／Yb共掺ZnO薄膜 | 第75-82页 |
| ·Er／Yb共掺ZnO薄膜的制备 | 第75-76页 |
| ·Er／Yb共掺ZnO薄膜的结构特征 | 第76-79页 |
| ·Er／Yb共掺ZnO薄膜的光致荧光特征 | 第79-82页 |
| ·Er／Yb共掺TiO_2薄膜 | 第82-87页 |
| ·Er／Yb共掺TiO_2薄膜的制备与表征 | 第83页 |
| ·Er／Yb共掺TiO_2薄膜的晶体结构 | 第83-84页 |
| ·Er／Yb共掺TiO_2薄膜的光学性能 | 第84-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 5 掺Er~(3+)及Er~(3+)／Yb~(3+)共掺Al_2O_3光波导放大器光学特性的理论分析 | 第88-111页 |
| ·掺Er~(3+)-Al_2O_3光波导放大器光学性能计算 | 第88-94页 |
| ·1480nm泵浦激发下掺Er~(3+)-Al_2O_3光波导放大器光学性能计算 | 第88-91页 |
| ·980nm泵浦激发下掺Er~(3+)-Al_2O_3光波导放大器光学性能计算 | 第91-94页 |
| ·Er~(3+)／Yb~(3+)共掺Al_2O_3光波导放大器光学性能计算 | 第94-110页 |
| ·980nm泵浦激发下Er~(3+)／Yb~(3+)共掺Al_2O_3光波导放大器增益计算模型 | 第94-98页 |
| ·波导设计因素对Er~(3+)／Yb~(3+)共掺Al_2O_3光波导放大器增益的影响 | 第98-106页 |
| ·波导质量因素对Er~(3+)／Yb~(3+)共掺Al_2O_3光波导放大器增益的影响 | 第106-110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 结论与展望 | 第111-114页 |
| 参考文献 | 第114-122页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第122-123页 |
| 创新点摘要 | 第123-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第125页 |
