| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-24页 |
| ·等离子体技术及其应用 | 第7-8页 |
| ·研究的目的、意义和方法 | 第8-15页 |
| ·研究现状 | 第15-22页 |
| ·本文内容简介和结构安排 | 第22-24页 |
| 第二章 基于金属基片的双频容性耦合等离子体鞘层流体力学模拟 | 第24-36页 |
| ·理论模型 | 第24-27页 |
| ·数值方法 | 第27-30页 |
| ·结果讨论 | 第30-34页 |
| ·小结 | 第34-36页 |
| 第三章 基于绝缘基片的双频容性耦合等离子体鞘层流体力学模拟 | 第36-45页 |
| ·鞘层模型 | 第36-37页 |
| ·数值方法 | 第37-39页 |
| ·结果讨论 | 第39-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第四章 结论与展望 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第51页 |