| 第一章 绪论 | 第1-30页 |
| §1.1 选题背景 | 第12-21页 |
| ·测量技术概况 | 第12-13页 |
| ·主要测厚仪器及其技术 | 第13-21页 |
| §1.2 论文的立论依据 | 第21-23页 |
| §1.3 论文的研究内容 | 第23-24页 |
| §1.4 论文的总体结构 | 第24-26页 |
| 参考文献 | 第26-30页 |
| 第二章 白光干涉测量术 | 第30-54页 |
| §2.1 引言 | 第30-31页 |
| §2.2 部分相干光干涉理论 | 第31-37页 |
| ·部分相干光的复数表示 | 第31页 |
| ·光强与功率谱密度 | 第31-32页 |
| ·相干函数与相干度 | 第32-35页 |
| ·相干长度与可见度 | 第35-37页 |
| §2.3 白光干涉分析方法 | 第37-44页 |
| ·白光Michelson干涉仪 | 第37-38页 |
| ·时间域白光干涉分析 | 第38-40页 |
| ·频谱域白光干涉分析 | 第40-44页 |
| §2.4 白光光源的光学特征及其干涉特性 | 第44-50页 |
| ·白光光源的光学特性 | 第44-48页 |
| ·白光干涉的特征 | 第48-50页 |
| §2.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 第三章 串联差分白光干涉测厚系统 | 第54-77页 |
| §3.1 引言 | 第54页 |
| §3.2 系统方案 | 第54-56页 |
| ·系统模块 | 第54-55页 |
| ·串联差分白光干涉测厚系统的典型结构 | 第55-56页 |
| §3.3 测厚原理分析 | 第56-62页 |
| ·光程差和光强度分布 | 第56-59页 |
| ·串联差分干涉模型的简化 | 第59页 |
| ·厚度计算的极值法原理 | 第59-62页 |
| §3.4 串联差分白光干涉测厚实验系统及实验结果验证 | 第62-65页 |
| ·串联差分白光干涉测厚实验系统 | 第62页 |
| ·串联差分白光干涉测厚系统实验结果验证 | 第62-65页 |
| §3.5 串联差分白光干涉谱数据处理及分析方法 | 第65-74页 |
| ·串联差分白光干涉谱数据的特点 | 第65-66页 |
| ·基于小波变换的串联差分白光干涉谱数据处理方法 | 第66-74页 |
| §3.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-77页 |
| 第四章 双路差分白光干涉测厚系统 | 第77-92页 |
| §4.1 引言 | 第77页 |
| §4.2 系统方案及测量原理 | 第77-80页 |
| ·双路差分白光干涉测厚系统的典型结构 | 第77-78页 |
| ·双路差分白光干涉测厚系统的工作原理 | 第78-79页 |
| ·箔带绝对厚度计算 | 第79-80页 |
| §4.3 基于最小均方差(LRMS)的双路差分干涉谱处理方法 | 第80-86页 |
| ·光谱数据归一化处理 | 第80-81页 |
| ·基于LRMS意义下的白光干涉谱数据处理方法 | 第81-84页 |
| ·实验结果验证 | 第84-86页 |
| §4.4 基于动态均值滤波的白光干涉谱数据处理方法 | 第86-90页 |
| ·理论基础 | 第86页 |
| ·数据处理方法与实验验证 | 第86-90页 |
| §4.5 本章小结 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-92页 |
| 第五章 白光干涉金属箔带测厚仪的整体设计 | 第92-117页 |
| §5.1 引言 | 第92页 |
| §5.2 白光干涉测厚仪主要部件 | 第92-103页 |
| ·白光光源及光纤系统 | 第92-94页 |
| ·双路差分白光干涉系统 | 第94-95页 |
| ·光谱接收系统特性分析 | 第95-100页 |
| ·机械结构设计 | 第100-101页 |
| ·白光干涉箔带测厚仪样机及测试系统演示 | 第101-103页 |
| §5.3 白光干涉箔带测厚仪软件的编写 | 第103-109页 |
| ·白光干涉箔带测厚仪软件的结构组成 | 第103页 |
| ·数据操作软件 | 第103-106页 |
| ·数据分析软件 | 第106-109页 |
| §5.4 系统标定 | 第109-115页 |
| ·标定方案 | 第109-110页 |
| ·标定结果 | 第110-115页 |
| §5.5 本章小结 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-117页 |
| 第六章 白光干涉金属箔带测厚仪的系统性能分析 | 第117-147页 |
| §6.1 引言 | 第117页 |
| §6.2 仪器性能参数 | 第117-134页 |
| ·分辨率 | 第117-119页 |
| ·动态范围 | 第119-121页 |
| ·稳定性 | 第121-128页 |
| ·重复性 | 第128-134页 |
| §6.3 性能影响因素分析 | 第134-145页 |
| ·白光光源对测试的影响 | 第134-135页 |
| ·箔带厚度不均匀及表面起伏的影响 | 第135-140页 |
| ·光谱仪谱宽对测量精度的影响 | 第140-141页 |
| ·反射面不平行对测量精度的影响 | 第141-142页 |
| ·反射面反射率不同的影响 | 第142-143页 |
| ·影响因素总结 | 第143-145页 |
| §6.4 本章小结 | 第145-146页 |
| 参考文献 | 第146-147页 |
| 第七章 总结与展望 | 第147-150页 |
| 附录 已发表或录用的学术论文 | 第150-151页 |
| 致谢 | 第151页 |
