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TiO2单层膜及TiO2/SnO2:F复合膜的DBD-CVD制备及性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
目录第7-10页
第一章 引言第10-11页
第二章 文献综述第11-31页
   ·研究背景第11-13页
     ·国外现状第12页
     ·国内现状第12-13页
   ·光催化性能研究第13-21页
     ·光催化机理第13-14页
     ·TiO_2光催化性能的影响因素第14-16页
       ·晶体结构的影响第14-15页
       ·TiO_2表面活性的影响第15页
       ·其他影响因素第15-16页
     ·TiO_2光催化的改性第16-21页
       ·过渡金属离子掺杂第16-17页
       ·强酸修饰第17-18页
       ·沉积贵重金属第18页
       ·复合半导体第18-20页
       ·投加氧化剂第20-21页
       ·掺杂非金属离子第21页
       ·采用微波加热第21页
   ·、TiO_2超亲水性研究第21-25页
     ·TiO_2超亲水性机理第22-23页
     ·影响TiO_2亲水性的因素第23-25页
       ·薄膜厚度第23页
       ·薄膜表面形貌第23页
       ·光源、紫外光照射时间和强度第23-24页
       ·TiO_2晶面第24页
       ·环境气氛第24页
       ·热处理条件第24-25页
   ·TiO_2制备方法第25-28页
     ·溶胶—凝胶法(Sol-Gel)第25-26页
     ·物理气相沉积(Physical Vapour Deposition)第26页
     ·喷雾热分解法(Spray Pyrolysis)第26-27页
     ·化学气相沉积(Chemical Vapour Deposition)第27-28页
   ·介质阻挡放电化学气相沉积(Dielectric Barrier Discharge Chemical Vapour Deposition)第28-29页
   ·选题角度的确定第29-31页
第三章 实验部分第31-40页
   ·DBD-CVD实验装置第31-33页
     ·DBD-CVD系统的构成第31-32页
     ·电源第32页
     ·真空系统第32页
     ·介质阻挡放电系统第32-33页
     ·气体流量控制与显示系统第33页
   ·原料体系的确定第33页
   ·样品制备过程第33-35页
     ·基板预处理第34页
     ·TTIP的灌制和封装第34页
     ·实验流程第34-35页
   ·测试方法第35-40页
     ·X射线衍射(XRD)第35页
     ·激光Raman谱第35页
     ·场发射扫描电镜(FE-SEM)第35-36页
     ·紫外可见透过光谱第36页
     ·可见光、中远红外反射率测试第36-37页
     ·方块电阻测试第37页
     ·薄膜光催化性能的测试第37-39页
     ·薄膜亲水性的表征第39-40页
第四章 沉积温度对TiO_2单层薄膜的结构、表面形貌以及性能的影响第40-50页
   ·沉积温度对薄膜晶体结构的影响第40-41页
   ·沉积温度对薄膜表面形貌的影响第41-44页
   ·沉积温度对薄膜光学性能的影响第44-45页
   ·沉积温度对薄膜光催化性能的影响第45-46页
   ·沉积温度对薄膜亲水性能的影响第46-48页
   ·小结第48-50页
第五章 沉积电压对TiO_2单层薄膜的结构、表面形貌以及性能的影响第50-57页
   ·沉积电压对薄膜晶体结构的影响第50-51页
   ·沉积电压对薄膜表面形貌的影响第51-52页
   ·沉积电压对薄膜光学性能的影响第52-54页
   ·沉积电压对薄膜光催化性能的影响第54-55页
   ·沉积电压对薄膜亲水性能的影响第55-56页
   ·小结第56-57页
第六章 TiO_2/SnO_2:F复合薄膜的结构、表面形貌以及性能的研究第57-70页
   ·反应时间对TiO_2/SnO_2:F复合薄膜晶体结构的影响第57-59页
   ·反应时间对TiO_2/SnO_2:F复合薄膜表面形貌的影响第59-61页
   ·反应时间对TiO_2/SnO_2:F复合薄膜光学性能的影响第61-63页
   ·反应时间对TiO_2/SnO_2:F复合薄膜光催化性能的影响第63-64页
   ·反应时间对TiO_2/SnO_2:F复合薄膜亲水性能的影响第64页
   ·反应时间对TiO_2/SnO_2:F复合薄膜方块电阻、中远红外反射率的影响第64-68页
   ·小结第68-70页
第七章 总结与展望第70-72页
参考文献第72-77页
研究生期间发表的学术论文第77-78页
致谢第78页

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