基于CPLD和虚拟仪器技术的镀膜机膜厚控制系统的研究
| 目录 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-8页 |
| §1.1 引言 | 第6页 |
| §1.2 国际与国内研究现状 | 第6-7页 |
| §1.3 论文研究的目的与内容 | 第7-8页 |
| 第二章 离子束溅射镀膜机膜厚控制原理 | 第8-14页 |
| §2.1 离子束溅射镀膜机的工作原理 | 第8-9页 |
| §2.2 膜厚控制基本原理 | 第9-14页 |
| 第三章 离子束镀膜机膜厚控制系统总体设计 | 第14-27页 |
| §3.1 系统总体方案设计 | 第14-16页 |
| §3.2 系统主要部分设计指标要求与分析 | 第16-20页 |
| §3.3 CPLD技术在此系统中的应用 | 第20-27页 |
| 第四章 系统软件设计 | 第27-38页 |
| §4.1 串行通讯软件设计 | 第27-28页 |
| §4.2 单片机处理程序流程图 | 第28-30页 |
| §4.3 基于虚拟仪器的软件设计 | 第30-38页 |
| 第五章 系统可靠性分析 | 第38-41页 |
| §5.1 系统可靠性 | 第38-39页 |
| §5.2 印刷电路板的可靠性设计 | 第39-41页 |
| 第六章 实验测试与分析 | 第41-44页 |
| 结论与展望 | 第44-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 附录1 等精度频率计的CPLD原理图 | 第49-50页 |
| 附录2 等精度频率计的VHDL语言实现 | 第50-52页 |
| 附录3 单片机处理程序清单 | 第52-55页 |
| 附录4 等精度频率计的原理图设计 | 第55-56页 |
| 附录5 等精度频率计的PCB电路板设计 | 第56页 |
