| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·半导体气体传感器的发展历程 | 第8-10页 |
| ·本文开展的主要工作 | 第10-12页 |
| 2 气敏元件的制作 | 第12-27页 |
| ·SnO_2敏感材料的制备 | 第12-16页 |
| ·化学试剂及实验设备的选取 | 第12-13页 |
| ·反应原理及粉末制取流程 | 第13-16页 |
| ·粉体的表征 | 第16-21页 |
| ·物相分析 | 第16-18页 |
| ·晶粒大小分析 | 第18-21页 |
| ·气敏传感器的制作 | 第21-27页 |
| ·气敏元件的分类 | 第21-23页 |
| ·掺杂SnO_2气敏元件的结构和特性 | 第23-25页 |
| ·气敏元件的制作工艺流程 | 第25-27页 |
| 3 CO测试系统的设置 | 第27-36页 |
| ·测试电路及工作原理 | 第27-28页 |
| ·整个测试系统的组建 | 第28-32页 |
| ·测试CO气体的条件、方法和参数 | 第32-36页 |
| ·测试条件 | 第33-34页 |
| ·测试方法 | 第34-35页 |
| ·测试参数 | 第35-36页 |
| 4 不同重金属掺杂对CO的响应分析和比较 | 第36-54页 |
| ·加热电压的测定 | 第36-40页 |
| ·清洗采样时间的确定 | 第40-41页 |
| ·五种重金属掺杂对CO的检测 | 第41-46页 |
| ·五种元件检测CO灵敏度的比较 | 第46-50页 |
| ·检测100ppmCO时的灵敏度比较 | 第46-47页 |
| ·五种元件灵敏度随气体浓度的变化 | 第47-48页 |
| ·元件灵敏度随时间的稳定性变化 | 第48页 |
| ·响应时间和恢复时间比较 | 第48页 |
| ·样品的分散性 | 第48-50页 |
| ·测试影响因素分析 | 第50-51页 |
| ·干扰气体对检测CO结果的影响及相关分析 | 第51-54页 |
| ·元件对CH_4的测试结果及分析 | 第51-52页 |
| ·H_2对CO测试结果的影响 | 第52-54页 |
| 5 新型Al_2O_3基底微结构阵列式气体传感器 | 第54-64页 |
| ·Al_2O_3微结构体的热设计 | 第54-57页 |
| ·Al_2O_3陶瓷基片的制作工艺 | 第57页 |
| ·加热器及电极材料的选取 | 第57-60页 |
| ·基于MEMS技术的阵列式微结构气体传感器的制作过程 | 第60-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第69页 |