微惯性测量系统关键器件的研究
| 第一章 绪论 | 第1-18页 |
| ·研究的出发点和意义 | 第9-10页 |
| ·研究背景 | 第10-17页 |
| ·MEMS 发展背景 | 第10-12页 |
| ·微型惯性测量系统的研究背景 | 第12-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 微惯性测量系统及微型化的关键 | 第18-21页 |
| ·微惯性测量系统构成 | 第18页 |
| ·微惯性测量系统的技术特色 | 第18-19页 |
| ·微惯性测量系统的微型化的关键问题 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 高 G 值硅微加速度计的设计与制造 | 第21-40页 |
| ·微加速度计类型的选择及技术指标的确定 | 第21-22页 |
| ·硅微高 g 值加速度计设计方案 | 第22-34页 |
| ·压阻式加速度传感器的原理 | 第22-28页 |
| ·结构设计 | 第28-34页 |
| ·温度补偿的设计方法 | 第34-39页 |
| ·补偿原理及方法 | 第34-38页 |
| ·加速度计的温度补偿电路 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 “自锁式”微电磁开关的设计 | 第40-55页 |
| ·微型开关类型的确定 | 第40页 |
| ·自锁式电磁微开关的原理及结构 | 第40-43页 |
| ·开关的结构及其组成 | 第42页 |
| ·开关的工作原理 | 第42-43页 |
| ·微机械结构的设计与优化 | 第43-47页 |
| ·微电磁开关的仿真 | 第47-54页 |
| ·ANSYS 软件介绍 | 第47-48页 |
| ·微开关电磁分析过程 | 第48-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 微惯性测量系统关键器件工艺的研究 | 第55-72页 |
| ·MEMS 工艺介绍 | 第55-62页 |
| ·掺杂技术 | 第55-56页 |
| ·光刻技术 | 第56-57页 |
| ·湿法腐蚀 | 第57-58页 |
| ·干法腐蚀 | 第58-59页 |
| ·LPCVD 技术 | 第59页 |
| ·物理气相淀积--溅射 | 第59-60页 |
| ·LIGA 加工工艺 | 第60-61页 |
| ·准 LIGA 工艺 | 第61-62页 |
| ·加速度计的制备工艺 | 第62-66页 |
| ·掺杂类型和掺杂浓度的选择 | 第62-63页 |
| ·电阻条的参数及结构 | 第63-65页 |
| ·引线孔的选择 | 第65页 |
| ·引线及压焊块的选择 | 第65-66页 |
| ·划片道的设计 | 第66页 |
| ·加速度计工艺流程 | 第66-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 微惯性测量系统中微开关的测试 | 第72-76页 |
| ·微开关参数的测试 | 第72-74页 |
| ·微开关应用初步测评 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-77页 |
| 附录 1 | 第77-81页 |
| 附录 2 | 第81-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
