单晶金刚石弹性浮动研磨技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·本课题的研究意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-16页 |
| ·天然金刚石的性质 | 第10-12页 |
| ·天然金刚石及金刚石膜的加工技术现状 | 第12-14页 |
| ·研磨技术的发展和现状 | 第14-16页 |
| ·本课题的来源与主要研究内容 | 第16-17页 |
| ·课题来源 | 第16页 |
| ·课题研究的主要目标 | 第16页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 弹性浮动研磨原理、装置设计和初步试验 | 第17-29页 |
| ·研究背景 | 第17-18页 |
| ·弹性浮动研磨原理 | 第18-19页 |
| ·金刚石弹性浮动研磨装置的设计 | 第19-22页 |
| ·实验考察及特点分析 | 第22-27页 |
| ·金刚石弹性浮动研磨表面 | 第23-24页 |
| ·金刚石研磨表面的比较 | 第24-26页 |
| ·弹性浮动加工的特点 | 第26-27页 |
| ·小结 | 第27-29页 |
| 第三章 金刚石弹性浮动研磨表面加工特征研究 | 第29-42页 |
| ·金刚石表面呈现的三种加工状态 | 第29-30页 |
| ·实验分析研究 | 第30-39页 |
| ·实验背景简介 | 第30-31页 |
| ·分析方法及仪器 | 第31-33页 |
| ·基于粗盘研磨的实验及结果 | 第33-36页 |
| ·基于进化盘研磨的实验及结果 | 第36-38页 |
| ·激光拉曼光谱分析 | 第38-39页 |
| ·弹性浮动研磨的金刚石去除过程讨论 | 第39-41页 |
| ·金刚石加工表面形成机理概述 | 第39-40页 |
| ·以粗研磨盘为研具的金刚石材料的去除 | 第40页 |
| ·以进化后的研磨盘为研具的金刚石材料去除 | 第40-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 第四章 工艺参数对弹性浮动加工表面质量的影响 | 第42-53页 |
| ·实验条件 | 第42-44页 |
| ·金刚石加工面和加工方向的确定 | 第42-43页 |
| ·实验条件 | 第43-44页 |
| ·研磨速度对加工表面质量的影响 | 第44-47页 |
| ·参数选择 | 第44页 |
| ·实验结果 | 第44-47页 |
| ·弹性系数对加工表面质量的影响 | 第47-52页 |
| ·参数选择 | 第47-48页 |
| ·实验结果 | 第48-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第五章 弹性浮动研磨的振动及消振 | 第53-62页 |
| ·振动对金刚石加工的影响 | 第53-54页 |
| ·参与研磨切削微刃数与表面冲击的力学模型 | 第54-56页 |
| ·参与研磨切削微刃数对加工表面影响实验 | 第56-58页 |
| ·实验方法 | 第56页 |
| ·实验过程及分析 | 第56-58页 |
| ·系统消除各种加工过程振动影响的实验测试及研究 | 第58-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 结论与展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第68-69页 |
| 独创性说明 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
