| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-27页 |
| ·课题来源及意义 | 第10-11页 |
| ·柱径测量发展现状及关键技术综述 | 第11-25页 |
| ·柱体直径测量发展研究现状 | 第11-17页 |
| ·测头技术现状 | 第17-18页 |
| ·超精密进给机构及定位方法 | 第18-23页 |
| ·接触测量中误差补偿理论及方法 | 第23-25页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第25-27页 |
| 第二章 柱径测量边缘检出定位的理论和方法研究 | 第27-44页 |
| ·概述 | 第27页 |
| ·激光扫描边缘检出法 | 第27-32页 |
| ·激光扫描法边缘检出通用理论模型 | 第27-29页 |
| ·仿真与检出灵敏度的讨论 | 第29-30页 |
| ·检出灵敏度的讨论 | 第30页 |
| ·边缘检出方法 | 第30-32页 |
| ·CCD图像法柱径边缘定位 | 第32-35页 |
| ·CCD测径原理 | 第32-33页 |
| ·CCD图像边缘检测方法 | 第33-35页 |
| ·CCD图像边缘细化 | 第35页 |
| ·峰值法柱径检出 | 第35-43页 |
| ·测量的扫描路径规划 | 第36-37页 |
| ·BP神经网络模型 | 第37-39页 |
| ·测量路径规划的神经网络预测器 | 第39-42页 |
| ·黄金分割优化路径搜索策略 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 柱径测量机运动定位误差综合数学模型 | 第44-62页 |
| ·柱径测量机运动定位误差源的分类 | 第44页 |
| ·提高测量机运动定位精度的基本方法 | 第44-45页 |
| ·空气静压导轨特性及运动误差分析 | 第45-51页 |
| ·空气静压润滑系统结构 | 第46-47页 |
| ·空气静压导轨的节流工作形式 | 第47-48页 |
| ·空气静压导轨型式 | 第48-50页 |
| ·空气静压导轨运动误差分析 | 第50-51页 |
| ·超精密测量机运动定位误差综合数学模型 | 第51-57页 |
| ·热误差和接触变形误差 | 第51-52页 |
| ·齐次坐标变换法 | 第52-54页 |
| ·导轨运动的变换矩阵 | 第54页 |
| ·测量机测头与工件误差运动建模 | 第54-55页 |
| ·三轴测量系统运动定位误差数学模型的建立 | 第55-57页 |
| ·一般机床的运动定位误差综合关系表达式 | 第57页 |
| ·COY-Ⅰ超精密偶件测量仪的运动定位误差综合数学模型 | 第57-61页 |
| ·坐标系设定 | 第57-58页 |
| ·COY-Ⅰ超精密偶件测量仪的运动定位误差源 | 第58-59页 |
| ·COY-Ⅰ超精密偶件测量仪误差运动综合计算 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 测头接触测量误差及误差补偿理论和方法 | 第62-77页 |
| ·概述 | 第62页 |
| ·预行程误差 | 第62-63页 |
| ·测头结构引起的测量误差 | 第63-70页 |
| ·平面测头 | 第63-65页 |
| ·球形测头 | 第65-70页 |
| ·测头弹性接触变形 | 第70-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 一种新型直线电机驱动进给系统的研究 | 第77-95页 |
| ·直线电机在机床上的应用 | 第77-78页 |
| ·直线电机的分类和特点 | 第78-80页 |
| ·LDEMA结构及动力学原理 | 第80-84页 |
| ·LDEMA的伺服控制 | 第84-89页 |
| ·测量机伺服控制的特点 | 第84-86页 |
| ·现有伺服控制方法的比较 | 第86-87页 |
| ·LDEMA的自SAFPID控制 | 第87-89页 |
| ·SAFPID伺服控制器的设计 | 第89-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第六章 超精密偶件测量仪的设计及测量环境的研究 | 第95-116页 |
| ·概述 | 第95-97页 |
| ·COY-Ⅰ超精密偶件柱径测量仪的系统组成 | 第97页 |
| ·COY-Ⅰ超精密柱径测量平台及相关实验 | 第97-106页 |
| ·柱径边缘特征点定位实验 | 第98-99页 |
| ·电磁驱动控制及实验 | 第99-103页 |
| ·接触力误差补偿实验 | 第103-105页 |
| ·偶件柱径测量实验 | 第105-106页 |
| ·环境控制平台 | 第106-114页 |
| ·温度控制 | 第106-108页 |
| ·隔振 | 第108-114页 |
| ·本章小结 | 第114-116页 |
| 第七章 结论与展望 | 第116-119页 |
| ·全文总结 | 第116-118页 |
| ·后续研究展望 | 第118-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 参考文献 | 第120-132页 |
| 作者在攻读博士学位期间发表或录用的相关学术论文及专利 | 第132页 |