| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·超精密位移测量技术研究的背景 | 第9-10页 |
| ·超精密位移测量技术的国内外研究现状 | 第10-14页 |
| ·超精密二维位移测量技术的现状与发展趋势 | 第14-15页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第15页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 基于平面电容传感器的二维位移直接解耦测量原理 | 第17-26页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·基于电容传感器的位移测量原理 | 第17-21页 |
| ·基于平面电容传感器的二维位移直接解耦测量原理 | 第21-25页 |
| ·二维位移直接解耦测量的原理 | 第21-24页 |
| ·辨向功能扩展 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 平面电容传感器的结构参数优化设计 | 第26-37页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·PCS电容量的计算 | 第26-31页 |
| ·基于电容量定义的计算法 | 第27-28页 |
| ·基于麦克斯韦电磁理论的计算法 | 第28-30页 |
| ·基于有限元分析的计算法 | 第30-31页 |
| ·PCS灵敏度的确定 | 第31-36页 |
| ·单组极板的灵敏度 | 第32-34页 |
| ·PCS灵敏度和结构参数的确定 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 二维位移直接解耦测量系统硬件研制 | 第37-57页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·硬件电路设计 | 第37-52页 |
| ·电容信号检出 | 第38-45页 |
| ·检出信号交流放大 | 第45页 |
| ·放大信号锁相检测 | 第45-52页 |
| ·抗干扰技术 | 第52-56页 |
| ·干扰的来源 | 第52-53页 |
| ·抗干扰的设计和实施 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 二维位移直接解耦测量系统的信号处理与软件设计 | 第57-73页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·信号处理算法 | 第57-62页 |
| ·运动辨向 | 第58-60页 |
| ·1/4周期计数 | 第60页 |
| ·相位细分 | 第60-61页 |
| ·位移量整合计算 | 第61-62页 |
| ·基于LabVIEW的测量系统软件设计 | 第62-69页 |
| ·LabVIEW平台简介 | 第63-64页 |
| ·基于LabVIEW的测量系统软件实现 | 第64-69页 |
| ·基于DSP的测量系统软件设计 | 第69-72页 |
| ·TMS320F2812芯片简介 | 第69页 |
| ·F2812软件设计中的关键问题 | 第69-71页 |
| ·基于DSP的测量系统软件实现 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 二维位移直接解耦测量系统实验研究 | 第73-86页 |
| ·二维位移直接解耦测量系统性能测试实验平台构建 | 第73-76页 |
| ·信号检测电路的稳定性测试 | 第76-79页 |
| ·激励源的稳定性测试 | 第76-77页 |
| ·移相电路的稳定性测试 | 第77-78页 |
| ·传感器和检测电路的整体稳定性测试 | 第78-79页 |
| ·二维位移直接解耦测量系统性能指标测定 | 第79-85页 |
| ·实验步骤 | 第79页 |
| ·直接解耦测量原理的验证 | 第79-80页 |
| ·线性度的实验 | 第80-82页 |
| ·分辨率和灵敏度的实验 | 第82-83页 |
| ·重复测量精度的实验 | 第83-84页 |
| ·位移测量精度的实验 | 第84页 |
| ·误差来源分析 | 第84-85页 |
| ·二维位移直接解耦测量系统达到的技术性能指标 | 第85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第七章 总结与展望 | 第86-88页 |
| ·全文总结 | 第86-87页 |
| ·展望 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-92页 |
| 致谢 | 第92页 |