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甲醛气体传感器的研制及其敏感性能研究

提要第1-7页
第一章 前言第7-26页
 第一节 传感器简介第7-8页
     ·传感器的定义第7页
     ·传感器的发展概况第7-8页
 第二节 气体传感器第8-20页
     ·气体传感器的定义第8页
     ·气体传感器的分类和工作原理第8-12页
     ·气体传感器的发展方向第12页
     ·半导体气敏元件第12-15页
       ·半导体气敏元件的分类第12-15页
       ·不同结构的比较第15页
       ·电阻型金属氧化物半导体气敏元件的工作机理第15页
     ·甲醛的危害性及研制甲醛气体传感器的意义第15-16页
     ·甲醛测定方法第16-19页
     ·室内甲醛浓度检测仪器的国内外研究现状第19页
     ·半导体氧化物甲醛气体传感器发展概况第19-20页
 第三节 纳米材料概述第20-26页
     ·纳米材料的发展概况第20页
     ·纳米材料的特点及主要制备方法第20-22页
     ·溶胶-凝胶法制备纳米晶材料简介第22页
     ·TiO_2 的晶体结构和表面态第22-25页
     ·本文的工作第25-26页
第二章 TiO_2 纳米晶及其掺杂的制备和表征第26-40页
   ·TiO_2 纳米材料及其掺杂的制备第27-28页
     ·纳米晶TiO_2 的制备第27-28页
     ·含有Ag掺杂离子的纳米晶TiO_2 的制备第28页
   ·TiO_2 纳米晶的征第28-38页
     ·纳米晶TiO_2 的X光电子能谱(XPS)分析第28-30页
     ·X 射线衍射分析(XRD)第30-33页
       ·TiO_2 的XRD谱图第31-32页
       ·纳米 TiO_2/A920的XRD谱图第32-33页
     ·纳米晶TiO_2 的透射电镜分析(TEM)第33-34页
     ·纳米晶TiO_2 及其掺杂的比表面积测量第34-38页
       ·纳米晶TiO_2 的比表面积测量第36页
       ·掺Ag的纳米晶TiO_2 的比表面积测量第36-38页
   ·纳米粉体In_2O_3 的制备第38-39页
   ·纳米In_2O_3 的表征第39-40页
     ·纳米In_2O_3 的X射线衍射分析( XRD )第39-40页
第三章 元件的制作工艺及原理第40-45页
   ·旁热式气敏元件制作工艺第40-41页
   ·仪器及原理第41-45页
第四章 TiO_2及其掺杂元件气敏性能的测量第45-53页
   ·纯TiO_2 气敏元件对HCHO的基本特性第45-47页
     ·灵敏度与焙烧温度的关系第45-46页
     ·灵敏度-浓度特性第46-47页
   ·TiO_2 及其掺杂气敏元件对HCHO的基本特性第47-50页
     ·不同掺杂物对二氧化钛气敏性能的影响第47-48页
     ·Ag~+ 离子掺杂的灵敏度-温度特性第48-49页
     ·Ag~+ 离子掺杂的灵敏度-浓度特性第49-50页
   ·元件的响应-恢复特性第50-51页
   ·元件的选择性第51-52页
   ·元件的稳定性第52-53页
第五章 TiO_2 及其掺杂元件机理探讨第53-54页
   ·导电机理第53页
   ·敏感机理第53-54页
第六章 纳米氧化铟材料的甲醛气敏特性研究第54-57页
   ·电阻-温度曲线第54-55页
   ·灵敏度-温度曲线第55-56页
   ·灵敏度-浓度曲线第56页
   ·元件的响应-恢复特性第56-57页
结论第57-58页
参考文献第58-66页
致谢第66-67页
摘要第67-68页
Abstract第68页

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