| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题研究背景 | 第9-10页 |
| ·超声波功率驱动系统 | 第10-14页 |
| ·热超声倒装键合中的超声波功率驱动系统 | 第10-12页 |
| ·超声波功率驱动技术的发展 | 第12-13页 |
| ·超声波功率驱动设备研究现状 | 第13-14页 |
| ·课题来源及研究内容 | 第14-16页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 热超声倒装键合功率驱动系统的频率跟踪策略研究 | 第16-29页 |
| ·压电换能器的电学特性研究 | 第16-21页 |
| ·压电换能器等效电路 | 第16-18页 |
| ·换能器的谐振特性研究 | 第18-21页 |
| ·锁相式频率跟踪(PLL)的模型建立及其特性研究 | 第21-26页 |
| ·PLL工作原理 | 第21-23页 |
| ·三阶PLL的频率响应模型 | 第23-24页 |
| ·三阶PLL的稳定性分析 | 第24-25页 |
| ·三阶PLL的跟踪特性研究 | 第25-26页 |
| ·基于PI+DPLL的频率跟踪控制策略的提出 | 第26-28页 |
| ·小结 | 第28-29页 |
| 第三章 热超声倒装键合功率驱动系统的硬件实现 | 第29-52页 |
| ·功率驱动系统总体方案 | 第29-31页 |
| ·信号发生模块 | 第31-35页 |
| ·DDS技术原理与特性 | 第31-33页 |
| ·AD9852的性能分析 | 第33-34页 |
| ·AD9852的外围设计 | 第34-35页 |
| ·功率调节的硬件实现 | 第35页 |
| ·低通滤波器(LPF)的设计 | 第35-39页 |
| ·功率放大电路 | 第39-41页 |
| ·反馈鉴相模块的实现 | 第41-46页 |
| ·采样电路的设计 | 第41-42页 |
| ·信号调理电路的实现 | 第42-43页 |
| ·鉴相器(PD)设计 | 第43-44页 |
| ·光电耦合电路 | 第44-46页 |
| ·功率驱动系统控制器的硬件设计 | 第46-51页 |
| ·MSP430F149的选用 | 第46页 |
| ·功率驱动系统控制器硬件结构与外围电路 | 第46-47页 |
| ·复位电路设计 | 第47-48页 |
| ·与外部的通信/调试接口 | 第48-49页 |
| ·相位差捕获保护电路 | 第49-50页 |
| ·液晶显示模块 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第四章 热超声倒装键合功率驱动系统的软件设计 | 第52-62页 |
| ·系统编程语言和编程仿真工具 | 第52-53页 |
| ·系统编程语言 | 第52页 |
| ·系统编程仿真工具 | 第52-53页 |
| ·软件总体设计 | 第53-54页 |
| ·系统主程序 | 第54-57页 |
| ·系统初始化程序 | 第55-56页 |
| ·DDS模块驱动程序 | 第56页 |
| ·液晶显示模块驱动程序 | 第56-57页 |
| ·用户中断服务程序 | 第57-61页 |
| ·功率实时控制程序 | 第57-59页 |
| ·PI+DPLL的频率跟踪控制程序 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 热超声倒装功率驱动系统的调试与测试 | 第62-70页 |
| ·系统调试 | 第62-67页 |
| ·电源模块的调试 | 第62页 |
| ·单片机电路的调试 | 第62-64页 |
| ·DDS波形发生电路的调试 | 第64-66页 |
| ·功率放大电路的调试 | 第66-67页 |
| ·功率驱动系统性能测试 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·全文总结 | 第70-71页 |
| ·展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读硕士学位期间的主要研究成果 | 第76页 |