外延薄膜生长过程的微观相场研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·研究背景及意义 | 第8-11页 |
| ·文献综述 | 第11-16页 |
| ·数值模拟研究方法 | 第11-13页 |
| ·相场法模拟研究进展 | 第13-16页 |
| ·本文的主要研究内容和工作 | 第16-18页 |
| 第二章 相场模型基础及其数值方法 | 第18-32页 |
| ·扩散界面方程 | 第18-23页 |
| ·自由能 | 第21页 |
| ·朗道型体化学势 | 第21-22页 |
| ·界面能 | 第22-23页 |
| ·纯物质相场模型 | 第23-24页 |
| ·控制方程 | 第24-25页 |
| ·数值方法 | 第25-32页 |
| ·离散变量法及相关概念 | 第25-30页 |
| ·FFT变换及应用 | 第30-32页 |
| 第三章 数值积分方案及数值算例 | 第32-56页 |
| ·有限差分法 | 第32-53页 |
| ·显式格式 | 第32-34页 |
| ·Neumann边界条件模拟过程 | 第34-39页 |
| ·周期边界条件模拟过程 | 第39-53页 |
| ·成核开始的条件 | 第53-54页 |
| ·枝晶生长率 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第四章 外延薄膜表面台阶演化模拟 | 第56-68页 |
| ·外延生长的表面动力学过程 | 第57-58页 |
| ·相场方程 | 第58-67页 |
| ·螺形台阶演化 | 第60-63页 |
| ·梯形台阶演化 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 弹性应力的引入 | 第68-74页 |
| ·关于弹性应力的考虑 | 第68-69页 |
| ·简要介绍引入弹性应变的应用 | 第69-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| ·本文总结 | 第74页 |
| ·展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
