| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-25页 |
| ·多孔硅功能材料研究现状分析 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·多孔硅的制备方法 | 第9-11页 |
| ·多孔硅的稳定化处理 | 第11页 |
| ·多孔硅的形成机理 | 第11-13页 |
| ·多孔硅的优良性质 | 第13-14页 |
| ·多孔硅功能材料的应用 | 第14-16页 |
| ·基于多孔硅的传感技术分析 | 第16-21页 |
| ·基于多孔硅的生物传感技术 | 第16-17页 |
| ·基于多孔硅的化学传感技术 | 第17-21页 |
| ·基于多孔硅的乙醇气体传感技术 | 第21-23页 |
| ·乙醇气体传感技术发展现状 | 第21-23页 |
| ·多孔硅传感技术研究的不足 | 第23页 |
| ·论文的意义及主要研究内容 | 第23-25页 |
| ·F-P 干涉型多孔硅乙醇气体传感技术研究意义 | 第23-24页 |
| ·主要研究内容 | 第24-25页 |
| 2 实验 | 第25-32页 |
| ·F-P 干涉型多孔硅的电化学制备 | 第25-26页 |
| ·实验仪器、试剂及材料 | 第25页 |
| ·制备流程及装置图 | 第25-26页 |
| ·F-P 干涉型多孔硅的稳定化处理 | 第26-27页 |
| ·F-P 干涉型多孔硅的表征 | 第27-29页 |
| ·多孔硅反射干涉图谱的采集以及光学厚度的计算 | 第27-28页 |
| ·表面形貌与组成 | 第28-29页 |
| ·孔隙率与膜厚 | 第29页 |
| ·F-P 干涉型多孔硅乙醇蒸汽传感实验 | 第29-32页 |
| ·传感实验装置 | 第29-30页 |
| ·传感过程 | 第30-31页 |
| ·传感性能评价 | 第31-32页 |
| 3 结果与讨论 | 第32-51页 |
| ·电化学阳极氧化条件对多孔硅法布里-珀罗干涉特性的影响 | 第32-37页 |
| ·占空比对多孔硅干涉特性的影响 | 第32-33页 |
| ·脉冲阳极氧化电流密度对多孔硅干涉特性的影响 | 第33-34页 |
| ·有效阳极氧化时间对多孔硅干涉特性的影响 | 第34-35页 |
| ·电解液组成对多孔硅干涉特性的影响 | 第35-37页 |
| ·电化学阳极氧化条件对F-P 干涉型多孔硅理化性质的影响 | 第37-42页 |
| ·阳极氧化电流密度 | 第37-39页 |
| ·阳极氧化时间 | 第39-40页 |
| ·氢氟酸浓度 | 第40-42页 |
| ·稳定化处理的F-P 干涉型多孔硅理化性质表征 | 第42-44页 |
| ·稳定化处理前后的多孔硅化学组成分析 | 第42-43页 |
| ·稳定化处理前后的多孔硅稳定性变化 | 第43页 |
| ·稳定化处理前后的多孔硅孔隙率及膜厚变化 | 第43-44页 |
| ·多孔硅对乙醇蒸汽传感性能 | 第44-51页 |
| ·F-P 干涉型多孔硅层的蒸汽吸附机理 | 第44-45页 |
| ·定性分析 | 第45-47页 |
| ·定量分析 | 第47-51页 |
| 4 结论与展望 | 第51-53页 |
| ·结论 | 第51-52页 |
| ·展望 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 附录 | 第59页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第59页 |