透明导电掺铝氧化锌薄膜制备及光电性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-20页 |
| ·课题来源和目的意义 | 第8-9页 |
| ·透明导电薄膜 | 第9-11页 |
| ·透明导电AZO 薄膜的性质 | 第11-12页 |
| ·AZO 薄膜的结构特点 | 第11页 |
| ·AZO 薄膜的性质 | 第11-12页 |
| ·AZO 薄膜的应用 | 第12-13页 |
| ·AZO 薄膜的制备方法 | 第13-19页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第13-14页 |
| ·磁控溅射法 | 第14-15页 |
| ·化学气相沉积法 | 第15-16页 |
| ·喷雾热分解法 | 第16页 |
| ·分子束外延 | 第16-17页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第17-19页 |
| ·主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 实验材料及研究方法 | 第20-24页 |
| ·实验药品与仪器 | 第20-21页 |
| ·实验药品 | 第20页 |
| ·实验的主要仪器 | 第20-21页 |
| ·实验方法 | 第21-22页 |
| ·玻璃基体的清洗过程 | 第21页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第21-22页 |
| ·测试方法 | 第22-24页 |
| 第3章 透明导电AZO 薄膜制备 | 第24-29页 |
| ·溶剂的选取 | 第24-25页 |
| ·AZO 薄膜的制备 | 第25-28页 |
| ·制膜工艺研究 | 第25-26页 |
| ·烧结工艺研究 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 工艺参数对AZO 薄膜光电性能的影响 | 第29-59页 |
| ·溶胶浓度对AZO 薄膜性能的影响 | 第29-36页 |
| ·溶胶浓度对AZO 薄膜微观结构的影响 | 第29-34页 |
| ·溶胶浓度对AZO 薄膜光电性能的的影响 | 第34-36页 |
| ·铝掺杂量对AZO 薄膜性能的影响 | 第36-42页 |
| ·铝掺杂量对AZO 薄膜微观结构的影响 | 第36-40页 |
| ·铝掺杂量对AZO 薄膜光电性能的影响 | 第40-42页 |
| ·预处理温度对AZO 薄膜性能的影响 | 第42-48页 |
| ·预处理温度对AZO 薄膜微观结构的影响 | 第42-46页 |
| ·预处理温度对AZO 薄膜光电性能的的影响 | 第46-48页 |
| ·退火温度对AZO 薄膜性能的影响 | 第48-53页 |
| ·退火温度对AZO 薄膜微观结构的影响 | 第48-52页 |
| ·退火温度对AZO 薄膜光电性能的的影响 | 第52-53页 |
| ·用正交实验进行工艺参数的优化 | 第53-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
