| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·燃料电池 | 第9-11页 |
| ·固体氧化物燃料电池(SOFC) | 第11-12页 |
| ·SOFC电解质材料 | 第12-15页 |
| ·ZrO_2基电解质 | 第13-14页 |
| ·CeO_2基电解质 | 第14-15页 |
| ·本论文的选题 | 第15-17页 |
| 2 薄膜制备及分析方法 | 第17-35页 |
| ·薄膜制备 | 第17-22页 |
| ·实验设备 | 第17-21页 |
| ·靶的制备 | 第21-22页 |
| ·基片处理 | 第22页 |
| ·溅射镀膜 | 第22页 |
| ·薄膜分析方法 | 第22-35页 |
| ·台阶仪 | 第22-23页 |
| ·电子探针显微分析(EPMA) | 第23-24页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第24页 |
| ·X射线反射(XRR) | 第24-25页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第25-27页 |
| ·交流阻抗谱(AC-Impedance) | 第27-35页 |
| 3 单层GDC和YSZ薄膜的制备研究 | 第35-41页 |
| ·实验部分 | 第35-36页 |
| ·薄膜制备 | 第35页 |
| ·性能表征 | 第35-36页 |
| ·结果与分析 | 第36-40页 |
| ·GDC、YSZ薄膜的成分、结构与表面形貌 | 第36-38页 |
| ·GDC、YSZ薄膜的电学性质 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 不同调制周期GDC/YSZ多层电解质薄膜的制备研究 | 第41-54页 |
| ·实验部分 | 第41-43页 |
| ·GDC/YSZ多层薄膜制备 | 第41-42页 |
| ·GDC/YSZ多层薄膜性能表征 | 第42-43页 |
| ·结果与分析 | 第43-53页 |
| ·不同调制周期GDC/YSZ多层膜的成分、物相与结构 | 第43-49页 |
| ·不同调制周期GDC/YSZ多层薄膜的生长形貌 | 第49-50页 |
| ·不同调制周期GDC/YSZ多层膜的电学性能 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 不同调制比GDC/YSZ多层电解质薄膜的制备研究 | 第54-68页 |
| ·实验部分 | 第54-55页 |
| ·不同调制比GDC/YSZ多层薄膜制备 | 第54页 |
| ·不同调制比GDC/YSZ多层膜性能表征 | 第54-55页 |
| ·结果与分析 | 第55-67页 |
| ·不同调制比GDC/YSZ多层膜结构 | 第55-60页 |
| ·不同调制比GDC/YSZ多层电解质薄膜的生长形貌 | 第60-62页 |
| ·不同调制比GDC/YSZ多层电解质薄膜的电学性质 | 第62-65页 |
| ·气氛对GDC/YSZ多层电解质薄膜电学性质的影响 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 工作展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
