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精密光栅纳米级承载工作台设计与研究

摘要第1-5页
Abstract第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-10页
   ·课题研究意义第7-8页
   ·本课题来源及技术指标第8页
   ·论文的主要工作第8-10页
第二章 工作台整体方案和电机选择第10-19页
   ·工作台设计方案第10-11页
   ·测量和工作原理第11-12页
   ·闭环伺服控制系统第12-14页
   ·步进电机工作特性及控制应用第14-19页
第三章 光学系统设计第19-40页
   ·意义第19页
   ·光栅种类第19-23页
   ·细分技术第23-34页
   ·光学系统部件选择第34-40页
第四章 电路设计第40-47页
   ·四倍频电路设计原理第40-42页
   ·光栅四细分电路、辨向电路及计数器的设计第42-43页
   ·800细分与计数原理第43-46页
   ·单片机与计算机通讯第46-47页
第五章 上位机界面编写与测量实验第47-52页
   ·上位机测控终端软件设计第47-48页
   ·工作台测试实验结果第48-49页
   ·误差分析与修正第49-52页
结论第52-53页
致谢第53-54页
参考文献第54-55页

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