| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·纳米压痕的一般概念 | 第7-12页 |
| ·纳米压痕技术的应用 | 第8-9页 |
| ·纳米压痕技术理论基础 | 第9-10页 |
| ·纳米压痕技术在应用中的缺陷 | 第10-12页 |
| ·LSAWs 超声表面波技术 | 第12-14页 |
| ·声表面波技术的特点 | 第12-13页 |
| ·声表面波技术的应用 | 第13页 |
| ·LSAWs 技术用于检测low-k 介质的杨氏模量 | 第13-14页 |
| ·小结 | 第14-15页 |
| 第二章 LSAWs 理论曲线计算 | 第15-23页 |
| ·声表面波在分层介质结构中的传播 | 第15页 |
| ·Si 基衬底上沉积各向同性薄膜的结构 | 第15-21页 |
| ·小结 | 第21-23页 |
| 第三章 实验系统架构及信号采集 | 第23-49页 |
| ·LSAWs 实验系统的结构 | 第23-24页 |
| ·实验中具体优化设置 | 第24-31页 |
| ·脉冲激光能量与声表面波关系的研究 | 第24页 |
| ·实验光路调整 | 第24-25页 |
| ·实验中的干扰分析及屏蔽处理 | 第25-28页 |
| ·接地技术及实验应用 | 第28-30页 |
| ·聚偏氟乙烯（PVDF）压电薄膜的研究 | 第30-31页 |
| ·压电探头 | 第31页 |
| ·声表面波信号的采集 | 第31-33页 |
| ·声表面波信号的抽样原理 | 第31-32页 |
| ·声表面波信号的采集 | 第32-33页 |
| ·声表面波信号的频谱分析 | 第33-41页 |
| ·信号的时域描述和频域描述 | 第33-34页 |
| ·离散傅立叶变换（DFT） | 第34页 |
| ·快速傅立叶变换（FFT） | 第34-36页 |
| ·按时间抽取的FFT 算法 | 第36-41页 |
| ·利用DFT 对连续时间信号处理时应注意的几个问题 | 第41-46页 |
| ·混叠失真与参数选择 | 第41-43页 |
| ·频谱泄漏 | 第43-44页 |
| ·栅栏效应 | 第44-46页 |
| ·LSAWs 实验信号频谱分析 | 第46-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第四章 LSAWs 信号滤波处理和曲线拟合 | 第49-64页 |
| ·滤波器相关原理介绍 | 第49-54页 |
| ·滤波原理 | 第49-50页 |
| ·滤波器的分类 | 第50-52页 |
| ·滤波器的技术指标 | 第52-53页 |
| ·数字滤波器的设计步骤 | 第53-54页 |
| ·用窗函数法设计线性相位FIR 滤波器 | 第54-57页 |
| ·应用窗函数滤波器对LSAWs 实验信号滤波效果分析 | 第57-59页 |
| ·计算LSAWs 实验信号的频散曲线 | 第59-61页 |
| ·实验信号频散曲线拟合 | 第61-63页 |
| ·最小二乘法原理 | 第61-62页 |
| ·应用最小二乘法对实验曲线进行拟合处理 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 第五章 声表面波色散曲线匹配 | 第64-74页 |
| ·声表面波色散曲线的特点 | 第64-65页 |
| ·查找算法 | 第65-67页 |
| ·声表面波色散曲线匹配算法详述 | 第67-71页 |
| ·声表面波色散曲线匹配结果分析 | 第71-73页 |
| ·小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
