| 摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-19页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·低辐射镀膜玻璃 | 第7-13页 |
| ·建筑节能的原因分析 | 第7-8页 |
| ·低辐射镀膜玻璃的节能原理 | 第8-9页 |
| ·低辐射玻璃的性能 | 第9-11页 |
| ·衡量低辐射玻璃光学特性的主要指标 | 第11页 |
| ·低辐射玻璃的分类 | 第11页 |
| ·低辐射玻璃的应用 | 第11-12页 |
| ·低辐射玻璃的发展现状 | 第12-13页 |
| ·低辐射玻璃的研究现状 | 第13页 |
| ·氮化钛薄膜 | 第13-16页 |
| ·氮化钛薄膜的特性 | 第13-14页 |
| ·氮化钛薄膜的应用 | 第14-16页 |
| ·目前存在的问题 | 第16-17页 |
| ·本课题的研究目的及意义 | 第17-18页 |
| ·本课题的创新之处 | 第18-19页 |
| 2 溅射镀膜原理 | 第19-23页 |
| ·溅射机理及特点 | 第19-20页 |
| ·基本溅射类型 | 第20-23页 |
| ·直流溅射 | 第20页 |
| ·射频溅射 | 第20-21页 |
| ·反应溅射 | 第21-22页 |
| ·磁控溅射 | 第22-23页 |
| 3 实验 | 第23-28页 |
| ·实验设备和材料 | 第23页 |
| ·基片前处理 | 第23-24页 |
| ·TiNx/Ag/TiNX 低辐射膜的制备 | 第24-25页 |
| ·TiNX/Ag/TiNX 低辐射膜的制备方案 | 第25页 |
| ·薄膜的性能检测 | 第25-28页 |
| 4 TiNX/Ag/TiNX 低辐射膜的制备及性能研究 | 第28-54页 |
| ·制备工艺参数对TiNX/Ag/TiNX 低辐射膜的光学性能的影响 | 第28-39页 |
| ·银膜厚度对低辐射膜可见光透过率的影响 | 第28-30页 |
| ·氮气流量对低辐射膜的可见光透过率的影响 | 第30-32页 |
| ·外层TiNx 薄膜的制备功率对低辐射膜的光学性能的影响 | 第32-34页 |
| ·内层TiNx 薄膜的制备功率对低辐射膜的可见光透过率的影响 | 第34-35页 |
| ·外层TiNx 薄膜的沉积时间对低辐射膜的可见光透过率的影响 | 第35-37页 |
| ·内层TiNx 薄膜的沉积时间对低辐射膜的可见光透过率的影响 | 第37-39页 |
| ·TiNX/Ag/TiNX 低辐射膜的附着力与化学稳定性研究 | 第39-49页 |
| ·附着力 | 第39页 |
| ·TiNx /Ag/ TiNx 低辐射膜的耐腐蚀性能研究 | 第39-49页 |
| ·TiNX/Ag/TiNX 低辐射膜的辐射率 | 第49-51页 |
| ·TiNX/Ag/TiNX 低辐射膜的成份与结构分析 | 第51-54页 |
| ·低辐射膜的结构分析（XRD） | 第51页 |
| ·TiNx 薄膜的光电子能谱分析（XPS） | 第51-54页 |
| 5 结论 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 附录 | 第59页 |
