| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| ·矢量水听器概述 | 第10-16页 |
| ·矢量水听器的分类 | 第10-11页 |
| ·矢量水听器的发展及研究概况 | 第11-14页 |
| ·矢量水听器的工程应用 | 第14-16页 |
| ·MEMS加速度传感器简介 | 第16-19页 |
| ·MEMS加速度传感器的分类 | 第16-19页 |
| ·各种原理传感器的比较及加速度计类型的选用 | 第19页 |
| ·本论文的主要内容 | 第19-21页 |
| 第2章 基于MEMS的电容式加速度传感器设计 | 第21-37页 |
| ·MEMS电容式加速度传感器的工作原理 | 第21-27页 |
| ·电容式加速度传感器的工作原理 | 第21-23页 |
| ·电容式加速度传感器的数学模型 | 第23-26页 |
| ·信号测量电路 | 第26-27页 |
| ·MEMS电容式加速度传感器的设计 | 第27-31页 |
| ·敏感元件的设计 | 第27-29页 |
| ·敏感元件的加工与电路封装 | 第29-30页 |
| ·传感器工作频带的控制 | 第30-31页 |
| ·三维MEMS电容加速度传感器的性能测试 | 第31-36页 |
| ·频率特性的测试结果 | 第31-35页 |
| ·自噪声测量 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 同振式矢量水听器的设计与制作 | 第37-48页 |
| ·同振式矢量水听器的声波检测工作原理~[43]，[44] | 第37-43页 |
| ·柱形矢量水听器声波检测的工作原理 | 第37-40页 |
| ·表征矢量水听器的性能参数 | 第40-43页 |
| ·同振式矢量水听器的设计原理 | 第43-44页 |
| ·矢量水听器的整体结构设计与制作 | 第44-47页 |
| ·声压通道的设计 | 第44-46页 |
| ·整体结构设计与制作 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 矢量水听器的性能测试 | 第48-63页 |
| ·矢量通道性能测试 | 第48-59页 |
| ·指向性测试 | 第49-54页 |
| ·灵敏度测试 | 第54-59页 |
| ·声压通道性能测试 | 第59-60页 |
| ·相位测试 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |