| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 纳米级金属薄膜厚度检测的国内外发展概况 | 第8-12页 |
| 1.2.1 背散射法 | 第9-10页 |
| 1.2.2 台阶仪法 | 第10-11页 |
| 1.2.3 椭偏仪法 | 第11页 |
| 1.2.4 SPR法 | 第11-12页 |
| 1.3 课题拟采用方法 | 第12-13页 |
| 1.4 本章小结 | 第13-14页 |
| 第2章 差分式SPR相位检测双层薄膜厚度的测量模型 | 第14-32页 |
| 2.1 SPR效应 | 第14-16页 |
| 2.1.1 SPR效应的发展 | 第14页 |
| 2.1.2 SPR效应的原理 | 第14-16页 |
| 2.1.3 SPR耦合器结构 | 第16页 |
| 2.2 双层薄膜厚度的SPR法测量原理 | 第16-25页 |
| 2.2.1 基于SPR耦合器的检测模型 | 第16-19页 |
| 2.2.2 SPR法测量模式分析 | 第19-24页 |
| 2.2.3 SPR相位检测法 | 第24-25页 |
| 2.3 差分式SPR相位法 | 第25-30页 |
| 2.3.1 差分式SPR法的发展进程 | 第25-26页 |
| 2.3.2 差分式SPR相位法理论研究 | 第26-29页 |
| 2.3.3 差分式SPR相位法检测方案设计 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 光学系统的具体设计与建立 | 第32-46页 |
| 3.1 光路元件选择 | 第32-40页 |
| 3.1.1 光源的选择 | 第32-33页 |
| 3.1.2 传感棱镜及扫描驱动系统 | 第33-34页 |
| 3.1.3 干涉结构的选择 | 第34-39页 |
| 3.1.4 图像采集模块 | 第39-40页 |
| 3.2 光学系统设计概述 | 第40-41页 |
| 3.3 光学系统结构调整及测试 | 第41-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 实验过程与结果分析 | 第46-60页 |
| 4.1 图像处理 | 第46-55页 |
| 4.1.1 图像预处理 | 第48-51页 |
| 4.1.2 图像二值化 | 第51-52页 |
| 4.1.3 条纹细化 | 第52-53页 |
| 4.1.4 条纹宽度的计算 | 第53-55页 |
| 4.2 实验结果分析与处理 | 第55-57页 |
| 4.2.1 实验结果 | 第55-56页 |
| 4.2.2 与原方案对比 | 第56-57页 |
| 4.3 实验结果误差分析 | 第57-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 论文发表与科研情况介绍 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |