碳基纳米复合薄膜及应用研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 1 绪论 | 第13-29页 |
| ·研究背景及意义 | 第13-15页 |
| ·超细晶硬质合金 | 第15-17页 |
| ·DLC薄膜 | 第17-22页 |
| ·DLC薄膜的结构 | 第17-22页 |
| ·DLC薄膜的性能 | 第22页 |
| ·CN_x薄膜 | 第22-24页 |
| ·纳米复合薄膜 | 第24-27页 |
| ·本论文研究内容 | 第27-29页 |
| 2 薄膜制备与表征方法 | 第29-39页 |
| ·实验设备与方法 | 第29-33页 |
| ·实验设备 | 第29-33页 |
| ·实验方法 | 第33页 |
| ·薄膜表征方法 | 第33-39页 |
| ·X射线衍射 | 第33-34页 |
| ·扫描电镜 | 第34页 |
| ·原子力显微镜 | 第34页 |
| ·透射电镜 | 第34-35页 |
| ·Raman光谱 | 第35-36页 |
| ·X射线光电子能谱 | 第36-37页 |
| ·纳米压痕 | 第37-39页 |
| 3 MeN与CN_x薄膜制备与研究 | 第39-65页 |
| ·MeN薄膜制备与研究 | 第39-44页 |
| ·硬质合金基材的硬度与摩擦系数 | 第40-41页 |
| ·MeN薄膜的表面形貌 | 第41-42页 |
| ·MeN薄膜的硬度 | 第42-43页 |
| ·MeN薄膜的摩擦系数 | 第43-44页 |
| ·MeN薄膜研究小结 | 第44页 |
| ·CN_x薄膜制备与研究 | 第44-64页 |
| ·偏压对CN_x薄膜结构与性能的影响 | 第45-51页 |
| ·占空比对CN_x薄膜结构与性能的影响 | 第51-53页 |
| ·氮流量对CN_x薄膜结构与性能的影响 | 第53-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 4 C-N-Cr薄膜制备与研究 | 第65-82页 |
| ·不同氮流量下制备C-N-Cr薄膜 | 第65-75页 |
| ·薄膜制备 | 第65页 |
| ·薄膜的表面形貌、成分与结构 | 第65-73页 |
| ·薄膜的性能 | 第73-75页 |
| ·不同偏压下制备C-N-Cr薄膜 | 第75-78页 |
| ·薄膜制备 | 第75-76页 |
| ·薄膜的XRD谱 | 第76页 |
| ·薄膜的硬度与弹性模量 | 第76-77页 |
| ·薄膜的摩擦系数 | 第77-78页 |
| ·不同弧流下制备C-N-Cr薄膜 | 第78-81页 |
| ·薄膜制备 | 第78页 |
| ·薄膜的XRD谱 | 第78-79页 |
| ·薄膜的Raman光谱 | 第79-80页 |
| ·薄膜的硬度与弹性模量 | 第80页 |
| ·薄膜的摩擦系数 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 5 C-N-Zr薄膜制备与研究 | 第82-110页 |
| ·不同氮流量下制备C-N-Zr薄膜 | 第82-95页 |
| ·薄膜制备 | 第82页 |
| ·薄膜的表面形貌、成分与结构 | 第82-91页 |
| ·薄膜的性能 | 第91-95页 |
| ·不同偏压下制备C-N-Zr薄膜 | 第95-98页 |
| ·薄膜制备 | 第95页 |
| ·薄膜的XRD谱 | 第95-96页 |
| ·薄膜的Raman光谱 | 第96-97页 |
| ·薄膜的硬度与弹性模量 | 第97页 |
| ·薄膜的摩擦系数 | 第97-98页 |
| ·不同偏压下制备C-N-Zr薄膜工艺优化 | 第98-99页 |
| ·薄膜制备 | 第98页 |
| ·薄膜的硬度与弹性模量 | 第98页 |
| ·薄膜的XRD谱 | 第98-99页 |
| ·不同弧流下制备C-N-Zr薄膜 | 第99-108页 |
| ·薄膜制备 | 第99-101页 |
| ·薄膜的表面形貌、成分与结构 | 第101-105页 |
| ·薄膜的性能 | 第105-108页 |
| ·本章小结 | 第108-110页 |
| 6 C-N-V薄膜制备与研究 | 第110-123页 |
| ·薄膜制备 | 第110-111页 |
| ·薄膜的表面形貌、成分与结构 | 第111-119页 |
| ·表面形貌 | 第111-112页 |
| ·XPS谱 | 第112-115页 |
| ·Raman光谱 | 第115-117页 |
| ·XRD谱 | 第117-118页 |
| ·TEM组织与结构 | 第118-119页 |
| ·薄膜的性能 | 第119-122页 |
| ·硬度与弹性模量 | 第119-120页 |
| ·摩擦系数 | 第120-121页 |
| ·热稳定性 | 第121-122页 |
| ·本章小结 | 第122-123页 |
| 7 应用研究 | 第123-133页 |
| ·碳基薄膜性能比较 | 第123-126页 |
| ·硬度 | 第123-124页 |
| ·摩擦系数 | 第124页 |
| ·热稳定性 | 第124-126页 |
| ·工业应用 | 第126-133页 |
| ·碳基薄膜在铜管剥皮模具上的应用 | 第126-127页 |
| ·碳基薄膜在粉末冶金挤压模具上的应用 | 第127-129页 |
| ·碳基薄膜在微钻上的应用 | 第129-133页 |
| 结论 | 第133-134页 |
| 展望 | 第134-135页 |
| 参考文献 | 第135-146页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第146-148页 |
| 致谢 | 第148-149页 |
| 作者简介 | 第149-151页 |
