| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 主要符号对照表 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-31页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-17页 |
| 1.1.1 柔性结构问题概述 | 第13-15页 |
| 1.1.2 多输入多输出问题概述 | 第15-17页 |
| 1.2 相关研究现状和文献综述 | 第17-27页 |
| 1.2.1 柔性结构硅片台研究现状及其柔性问题解决途径 | 第17-18页 |
| 1.2.2 柔性结构硅片台建模研究 | 第18-22页 |
| 1.2.3 柔性结构硅片台控制研究 | 第22-27页 |
| 1.3 论文研究内容 | 第27-31页 |
| 1.3.1 研究问题的提出 | 第27-29页 |
| 1.3.2 论文研究思路及内容 | 第29-31页 |
| 第2章 柔性结构MIMO运动系统建模研究 | 第31-55页 |
| 2.1 本章引言 | 第31-32页 |
| 2.2 理论模型 | 第32-39页 |
| 2.2.1 连续模型 | 第32页 |
| 2.2.2 离散模型 | 第32-33页 |
| 2.2.3 模态模型 | 第33-38页 |
| 2.2.4 MIMO模态状态空间模型 | 第38-39页 |
| 2.3 频域辨识方法 | 第39-45页 |
| 2.3.1 频域辨识问题描述 | 第39-40页 |
| 2.3.2 闭环频域模型辨识 | 第40-41页 |
| 2.3.3 整体参数曲线拟合 | 第41-42页 |
| 2.3.4 模态分析 | 第42-45页 |
| 2.4 时域辨识方法 | 第45-54页 |
| 2.4.1 时域辨识问题描述 | 第46-47页 |
| 2.4.2 子空间辨识方法 | 第47-49页 |
| 2.4.3 闭环子空间辨识 | 第49-52页 |
| 2.4.4 模态分析 | 第52-54页 |
| 2.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第3章 柔性结构MIMO运动系统控制研究 | 第55-84页 |
| 3.1 本章引言 | 第55-56页 |
| 3.2 解耦SISO控制与直接MIMO控制 | 第56-60页 |
| 3.2.1 硅片台系统的解耦SISO控制 | 第56-58页 |
| 3.2.2 硅片台系统的直接MIMO控制 | 第58-59页 |
| 3.2.3 解耦SISO控制与直接MIMO控制关系 | 第59-60页 |
| 3.3 全状态反馈控制研究 | 第60-68页 |
| 3.3.1 全状态反馈控制的控制结构 | 第61页 |
| 3.3.2 卡尔曼滤波器/全状态估计器的实现 | 第61-62页 |
| 3.3.3 具有积分状态量的误差状态空间模型 | 第62-63页 |
| 3.3.4 全状态反馈控制器综合方法 | 第63-68页 |
| 3.4 鲁棒控制研究 | 第68-82页 |
| 3.4.1 不确定性建模 | 第68-74页 |
| 3.4.2 权函数矩阵设计 | 第74-79页 |
| 3.4.3 鲁棒控制器综合方法 | 第79-82页 |
| 3.5 本章小结 | 第82-84页 |
| 第4章 建模和控制综合性能与优化 | 第84-107页 |
| 4.1 本章引言 | 第84页 |
| 4.2 建模综合分析和优化 | 第84-97页 |
| 4.2.1 柔性结构MIMO运动系统建模综合 | 第84-91页 |
| 4.2.2 柔性结构MIMO运动系统辨识综合 | 第91-94页 |
| 4.2.3 闭环子空间辨识条件下输入信号优化方法 | 第94-97页 |
| 4.3 控制综合性能及稳定性 | 第97-104页 |
| 4.3.1 控制系统目标及性能 | 第97-99页 |
| 4.3.2 稳定性分析 | 第99-101页 |
| 4.3.3 鲁棒性能和鲁棒稳定性分析 | 第101-104页 |
| 4.4 建模和控制方法综合优化 | 第104-106页 |
| 4.4.1 建模与控制总体优化问题描述 | 第104页 |
| 4.4.2 总体优化目的和指标 | 第104-105页 |
| 4.4.3 总体优化方法 | 第105-106页 |
| 4.5 本章小结 | 第106-107页 |
| 第5章 仿真与实验验证 | 第107-133页 |
| 5.1 本章引言 | 第107页 |
| 5.2 硅片台机械结构和控制系统 | 第107-110页 |
| 5.3 建模方法仿真与实验研究 | 第110-122页 |
| 5.3.1 理论模型仿真分析 | 第110-115页 |
| 5.3.2 辨识实验验证 | 第115-119页 |
| 5.3.3 优化输入信号仿真 | 第119-122页 |
| 5.4 控制算法实验研究 | 第122-132页 |
| 5.4.1 全状态反馈控制实验验证 | 第122-127页 |
| 5.4.2 鲁棒控制实验验证 | 第127-132页 |
| 5.5 本章小结 | 第132-133页 |
| 第6章 结论与展望 | 第133-138页 |
| 6.1 研究内容总结 | 第133-136页 |
| 6.2 论文主要创新点 | 第136页 |
| 6.3 后期研究展望 | 第136-138页 |
| 参考文献 | 第138-144页 |
| 致谢 | 第144-146页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第146-147页 |