| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 微进给系统的研究背景 | 第10-11页 |
| 1.1.2 微进给系统的研究目的 | 第11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.3 论文的课题来源 | 第16页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 双驱压电式微进给系统总体设计 | 第18-27页 |
| 2.1 微进给实现的方法 | 第18-19页 |
| 2.2 压电陶瓷驱动原理及特性分析 | 第19-23页 |
| 2.2.1 压电陶瓷的铁电效应 | 第19-20页 |
| 2.2.2 压电陶瓷的工作原理 | 第20-21页 |
| 2.2.3 压电陶瓷的基本特性 | 第21-23页 |
| 2.3 基于双驱控制技术的微进给系统设计 | 第23-26页 |
| 2.3.1 双驱控制技术概述 | 第23页 |
| 2.3.2 双驱控制理论 | 第23-25页 |
| 2.3.3 双驱压电式微进给系统设计方案 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 双驱压电式微进给系统硬件设计 | 第27-36页 |
| 3.1 双驱压电式微进给系统技术指标 | 第27页 |
| 3.2 双驱压电式微进给装置及其控制系统选型 | 第27-34页 |
| 3.2.1 双驱压电式微进给系统驱动装置 | 第27-29页 |
| 3.2.2 双驱压电式微进给系统控制系统 | 第29-30页 |
| 3.2.3 双驱压电式微进给系统执行机构 | 第30-32页 |
| 3.2.4 双驱压电式微进给系统检测装置 | 第32-34页 |
| 3.3 双驱压电式微进给系统搭建 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 双驱压电式微进给系统迟滞补偿控制及软件开发 | 第36-58页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 双驱微进给工作台动力学模型与仿真 | 第36-39页 |
| 4.3 压电陶瓷非线性迟滞模型研究 | 第39-44页 |
| 4.4 双压电驱动迟滞补偿控制方法研究 | 第44-51页 |
| 4.4.1 压电陶瓷前馈逆模型控制 | 第44-45页 |
| 4.4.2 压电陶瓷驱动器控制方法 | 第45页 |
| 4.4.3 双压电迟滞补偿前馈逆模型和增量式PID复合控制与仿真 | 第45-50页 |
| 4.4.4 双驱压电式微进给系统控制实验 | 第50-51页 |
| 4.5 双驱压电式微进给系统控制软件 | 第51-57页 |
| 4.5.1 ACS运动控制器控制软件 | 第51-53页 |
| 4.5.2 双驱压电式微进给系统控制软件 | 第53-57页 |
| 4.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 双驱压电式微进给系统实验 | 第58-66页 |
| 5.1 双驱压电式微进给系统实验条件 | 第58-59页 |
| 5.2 压电陶瓷驱动器位移特性研究 | 第59-61页 |
| 5.3 双驱压电式微进给系统性能实验 | 第61-63页 |
| 5.3.1 双驱压电式微进给系统重复定位精度 | 第61-63页 |
| 5.3.2 双驱压电式微进给系统分辨率 | 第63页 |
| 5.4 影响双驱压电式微进给系统进给精度的因素 | 第63-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文及成果 | 第73页 |
| 攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第73页 |