TERS仪器专用STM针尖扫描头的研制
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-16页 |
| 1.2 STM系统的研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 系统整体设计 | 第21-29页 |
| 2.1 扫描隧道显微镜原理 | 第21-22页 |
| 2.2 扫描隧道显微镜扫描模式 | 第22-23页 |
| 2.3 系统需求分析与方案设计 | 第23-25页 |
| 2.4 系统关键技术 | 第25-28页 |
| 2.4.1 压电陶瓷驱动 | 第25-26页 |
| 2.4.2 位移传感器选择与设计 | 第26-27页 |
| 2.4.3 弱电流检测 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 系统硬件设计 | 第29-49页 |
| 3.1 压电陶瓷驱动电路设计 | 第29-33页 |
| 3.1.1 压电陶瓷驱动电路整体结构设计 | 第29-31页 |
| 3.1.2 高压稳压电路设计 | 第31-32页 |
| 3.1.3 放大电路设计 | 第32-33页 |
| 3.2 电容传感器设计 | 第33-38页 |
| 3.2.1 电容传感器分类与选择 | 第33-36页 |
| 3.2.2 电容传感器设计 | 第36-38页 |
| 3.3 弱电流检测电路设计 | 第38-40页 |
| 3.3.1 弱电流采集方案选择 | 第38-39页 |
| 3.3.2 弱电流检测电路设计 | 第39-40页 |
| 3.4 机械结构设计 | 第40-48页 |
| 3.4.1 整体机械结构设计 | 第40-42页 |
| 3.4.2 样品扫描台设计 | 第42-44页 |
| 3.4.3 针尖扫描台设计 | 第44-45页 |
| 3.4.4 自动进针机构设计 | 第45-46页 |
| 3.4.5 微动部分机械结构仿真 | 第46-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 系统软件设计 | 第49-57页 |
| 4.1 操作系统选择 | 第49-51页 |
| 4.2 文件系统选择 | 第51-53页 |
| 4.3 嵌入式程序设计 | 第53-55页 |
| 4.3.1 嵌入式程序设计流程 | 第53-54页 |
| 4.3.2 STM系统任务分析 | 第54-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 系统测试与分析 | 第57-77页 |
| 5.1 压电陶瓷驱动电路测试 | 第57-63页 |
| 5.1.1 稳压电路部分实验测试 | 第57-59页 |
| 5.1.2 放大电路部分实验测试 | 第59-63页 |
| 5.2 电容传感器信号处理电路测试 | 第63-69页 |
| 5.2.1 输出范围和线性度测试 | 第64-67页 |
| 5.2.2 迟滞系数与重复性测试 | 第67-68页 |
| 5.2.3 稳定性和动态性能测试 | 第68-69页 |
| 5.3 弱电流检测电路测试 | 第69-73页 |
| 5.3.1 基准弱电流的产生 | 第70-71页 |
| 5.3.2 线性度与稳定性测试 | 第71-73页 |
| 5.4 系统整体测试实验 | 第73-76页 |
| 5.4.1 STM系统测试 | 第73-75页 |
| 5.4.2 TERS实验测试 | 第75-76页 |
| 5.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 总结 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 附录 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 硕士期间的科研成果 | 第85页 |
