波面PSD的干涉测试与计算软件研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·光学表面面形误差评价的常用指标 | 第9-15页 |
| ·峰谷值 | 第9-11页 |
| ·均方根值 | 第11-12页 |
| ·中心点亮度 | 第12-13页 |
| ·功率谱密度曲线 | 第13-15页 |
| ·论文的主要内容 | 第15-16页 |
| 2 功率谱密度函数的数值计算 | 第16-33页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·功率谱密度的定义 | 第16-21页 |
| ·功率谱密度概念 | 第16-18页 |
| ·微观轮廓PSD | 第18-20页 |
| ·波面PSD | 第20-21页 |
| ·功率谱密度的计算 | 第21-27页 |
| ·PSD的数值计算 | 第22-23页 |
| ·计算平均PSD | 第23-26页 |
| ·一维PSD与二维PSD的转换方法 | 第26-27页 |
| ·功率谱密度(PSD)的量纲单位及包含的信息 | 第27-31页 |
| ·功率谱密度的量纲单位 | 第27-28页 |
| ·功率谱密度曲线中包含的信息 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 3 功率谱密度曲线在评价中频面形误差中的应用 | 第33-51页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·功率谱密度评价指标的发展现状 | 第34-35页 |
| ·波前畸变的频段划分及质量评价方法 | 第35-36页 |
| ·用PSD曲线评价表面中频误差 | 第36-43页 |
| ·光学表面质量评价的PSD标准线 | 第36-37页 |
| ·在评价中频面形误差时PSD曲线的有效频宽 | 第37-41页 |
| ·采样密度的选择 | 第41-43页 |
| ·评价结果的校正 | 第43-49页 |
| ·平滑及滤波 | 第43-45页 |
| ·干涉仪标定 | 第45-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 4 功率谱密度计算软件制作编写和测试 | 第51-61页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·功率谱密度计算软件的设计思想 | 第51-52页 |
| ·计算软件的流程与算法 | 第52-53页 |
| ·功率谱密度计算软件的使用方法和功能测试 | 第53-59页 |
| ·功率谱密度计算软件的使用方法和功能介绍 | 第53-55页 |
| ·功率谱密度计算软件功能测试 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 5 总结 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
