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通讯波段透明的Ge-Sb-Se-Te非易失光学相变材料及器件

中文摘要第3-5页
英文摘要第5-6页
1 绪论第9-27页
    1.1 固态相变材料第9-16页
        1.1.1 相变材料的主要类型第9-10页
        1.1.2 非易失相变材料的工作机制及典型应用第10-16页
    1.2 非易失相变材料研究现状第16-23页
        1.2.1 Sb-Te的掺杂和改性第17-19页
        1.2.2 Ge_2Sb_2Te_5的掺杂和改性第19-23页
    1.3 光学相变材料的现存问题第23-24页
    1.4 本文的研究目的、意义及研究内容第24-25页
    1.5 本章小结第25-27页
2 新型光学相变材料设计的理论基础第27-43页
    2.1 硫系玻璃的光吸收与材料的选择第28-30页
    2.2 Se与Te对材料性质的影响预期第30-40页
        2.2.1 对材料折射率的影响第30-33页
        2.2.2 对晶化能力的影响第33-35页
        2.2.3 对非晶形成能力的影响第35-37页
        2.2.4 对相变性能的影响第37-40页
    2.3 从Ge_2Sb_2Te_5到Ge_2Sb_2Se_xTe_(5-x)体系第40-41页
    2.4 本章小结第41-43页
3 Ge_2Sb_2Se_xTe_(5-x)体系薄膜性能第43-81页
    3.1 经典相变材料Ge_2Sb_2Te_5的薄膜性能第43-59页
        3.1.1 闪蒸法薄膜沉积第43-45页
        3.1.2 沉积薄膜的表征第45-47页
        3.1.3 非晶薄膜的相转变特征第47-50页
        3.1.4 Ge_2Sb_2Te_5薄膜的光学性能第50-59页
    3.2 Ge_2Sb_2Se_xTe_(5-x)(x=1,2,3,4,5)的薄膜性能第59-76页
        3.2.1 非晶薄膜的相转变特征第59-63页
        3.2.2 非晶态Ge_2Sb_2Se_xTe_(5-x)薄膜的光学性能第63-69页
        3.2.3 晶态Ge_2Sb_2Se_xTe_(5-x)薄膜的光学性能第69-76页
    3.3 Ge_2Sb_2Se_4Te_1新型光学相变材料第76-79页
        3.3.1 光学相变材料的优度值第76-77页
        3.3.2 相结构与相变性能第77-79页
    3.4 本章小结第79-81页
4 基于新型相变材料Ge_2Sb_2Se_4Te_1的集成光学器件第81-107页
    4.1 波导器件中非晶态Ge_2Sb_2Se_4Te_1损耗上限第81-96页
        4.1.1 测试器件设计第81-88页
        4.1.2 器件的制备第88-94页
        4.1.3 非晶态透明的GSS4T第94-96页
    4.2 基于Ge_2Sb_2Se_4Te_1的集成光开关第96-105页
        4.2.1 O-PCM集成的SiN微环形谐振腔设计第97-102页
        4.2.2 GSS_4T_1光开关性能测试与分析第102-103页
        4.2.3 GSS_4T_1与GST光开关性能对比第103-105页
    4.3 本章小结第105-107页
5 用于多光谱成像的Ge_2Sb_2Se_4Te_1宽波段可调谐滤光片设计第107-123页
    5.1 基于新型宽波段滤光片的多光谱成像系统原理第107-109页
    5.2 可调谐滤光片的设计方法第109-114页
        5.2.1 传输矩阵法计算光学膜系的透射谱第109-112页
        5.2.2 奇异值分解与信号重建率第112-114页
    5.3 滤波片的仿真设计与优化第114-121页
        5.3.1 各层薄膜参数及操作波段的优化第114-116页
        5.3.2 探测器噪声影响下的信号重建第116-118页
        5.3.3 滤光片“态”偏离影响下的信号重建第118-121页
    5.4 本章小结第121-123页
6 结论与展望第123-125页
致谢第125-129页
参考文献第129-141页
附录第141-142页

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